ナノ3D光干渉計測システムVS1800

表面形状計測の新たなスタンダード

特長

1．高分解能・広範囲

2．高い測定再現性

3．高速測定

サンプルを面で捉え、XY方向の走査がないことで測定を高速化し、非接触方式のため、サンプルにダメージを与えることなく測定可能です。

4．非破壊計測

従来はサンプルを切断し、断面を形成して行われた多層膜の層構造および層内部の異物計測を非破壊で行うことが可能です。透明な積層サンプルにおいて、レンズの高さ座標と各界面から得られた反射光を利用し、各光学界面において得られた干渉縞から仮想の断面画像を出力します。

5．簡単計測

直感的に使える操作画面を搭載し、処理後の画像をその場で確認できます。処理や解析内容のリスト化、独自解析レシピの作成、解析レシピの繰り返し使用などを簡単に行えます。また、大量データの一括処理が可能で、複数のサンプルや解析結果を一元管理し、手間のかかる後処理を軽減します。
また、表面形状の評価方法を定めた国際規格ISO25178には、非常に多くの項目が設定されており、サンプルごとの適切なパラメータを選択する必要があります。そこで、VS1800では、パラメータ選択を提案するツールを搭載し、管理精度の向上を支援します。

6．柔軟な導入

手動XYステージ仕様のベースモデルをType 1とし、駆動部の電動化を段階的に進めたType 2とType 3をご用意しています。各モデルのアップグレードは担当者による部品追加により行い、用途に合わせた手軽な導入が可能です。

仕様

装置仕様

機種		Type 1	Type 2	Type 3
Z軸	モーター駆動	標準搭載（最大測定Zレンジ～10 ㎜）
	PZT駆動	追加オプション（最大測定Zレンジ～150 μm)
XYステージ	駆動方式	手動	電動
	移動領域	±50 mm	±75 mm
	ステージサイズ	W205 × D150 ｍｍ	W225 × D225 mm
ゴニオステージ	駆動方式	手動		電動
	移動領域	±2°	±5°
測定用カメラ		標準カメラ　または　高画素カメラ
鏡筒		×1 または ×0.５
ズームレンズ		×0.7レンズ（追加オプション）
対物レンズ		×2.5 ×5　×10　×20　×50　×110
サンプル高さ	標準	0～50 mm
	追加オプション かさ上げキット使用時	50～100 mm	0～100 mm
除振台（架台付き）		パッシブ型　または　アクティブ型

ソフトウェア一覧

	標準搭載	追加オプション
計測ソフトウェア	表面形状測定	高傾斜測定
解析ソフトウェア	ISOパラメータ（ISO25178を参照） うねり解析、バンド分解 負荷曲線解析、粒子解析 フーリエ変換、線分解析	層断面解析、層面解析 断面積、ライン計測

機能紹介動画

ハイスループットを実現するVS1800 ～実際の測定から解析まで～

 

非破壊でできる層断面解析

 

高分解能で広域計測