ナノ3D光干渉計測システムVS1800

材料の平たん化や薄膜化、微細構造化が急速に進み、従来、一般的であったAFM（走査型プローブ顕微鏡）や触針式粗さ計、レーザー顕微鏡などを上回る計測精度が求められています。光の干渉現象を利用する走査型白色干渉顕微鏡（測定原理説明）を、より使いやすく、手軽に導入できるようにしたナノ3D光干渉計測システムVS1800では、高精度かつ広範囲な表面形状計測を高速に行うことができます。また、従来の線粗さによる測定では、「測定箇所による結果のバラつき」と「走査方向に依存する結果のバラつき」が大きな課題となっています。VS1800は、その対応として定められた表面形状の評価方法である国際規格ISO25178を参照にしたパラメータ算出により、表面形状測定の新たなスタンダードとして注目を集めています。

ナノ3D光干渉計測システムVS1800は、同じく高さ分解能0.1 nm以下を実現する、原子間力顕微鏡のナノ3Dプローブ計測システムAFM5500Mに比べて面内方向における計測範囲の広さが大きな特徴です。それぞれの特徴を生かし、ニーズに合わせた最適な計測システムの選択が生産性の向上につながります。

独自のアルゴリズムにより、垂直分解能0.01 nm（Phaseモード時）を実現。対物レンズの倍率に依存することなく、高い垂直分解能を実現するため、広い範囲（ワンショット最大6.4 mm×6.4 mm）でもナノオーダーの粗さ、段差の計測が可能です。

高さのスケールに干渉縞を用い、Z駆動機構からの影響を最小化することで、再現性0.1%以下（Phaseモード時）を実現します。