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日立グループの製品・サービス
日立グループの企業情報
微小デバイス特性評価装置のラインアップをご紹介します。
10nm以降のデバイス解析も対象にした、SEMベースのナノ・プロービング専用機です。高低温ステージでの特性評価やEBAC解析にも対応可能です。
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半導体デバイス内部配線、材料、電子部品の電気特性測定とEBAC（電子ビーム吸収電流）解析用に開発されたSEM式プロービングシステムです。
「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。 お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。
日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution（セメボリューション）」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。
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