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日立グループの製品・サービス
日立グループの企業情報
微小デバイス特性評価装置のラインアップをご紹介します。
10nm以降のデバイス解析も対象にした、SEMベースのナノ・プロービング専用機です。高低温ステージでの特性評価やEBAC解析にも対応可能です。
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半導体デバイス内部配線、材料、電子部品の電気特性測定とEBAC(電子ビーム吸収電流)解析用に開発されたSEM式プロービングシステムです。
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