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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

ナノ・プローバ®

微小デバイス特性評価装置のラインアップをご紹介します。

製品一覧

微小デバイス特性評価装置ナノ・プローバ®
NP6800

10nm以降のデバイス解析も対象にした、SEMベースのナノ・プロービング専用機です。高低温ステージでの特性評価やEBAC解析にも対応可能です。

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微小デバイス特性評価装置 nanoEBAC®
NE4000

半導体デバイス内部配線、材料、電子部品の電気特性測定とEBAC(電子ビーム吸収電流)解析用に開発されたSEM式プロービングシステムです。

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