このウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。
ページの本文へ
検索
閉じる
Japan
日立グループの製品・サービス
日立グループの企業情報
集束イオンビーム(FIB)修正技術を導入したFPD用フォトマスク欠陥修正装置です。 チャンバ内にローテーション機構を採用したことにより、スペース効率を高め、設置面積を抑えました。
価格:お問い合わせください
取扱会社:株式会社日立ハイテク
フォトマスクリペア装置の参考文献・発表をまとめています。
装置の保守・サービス会社のご案内です。
© Hitachi High-Tech Corporation. 2001, All rights reserved.