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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテク

フォトマスクリペア装置 MRシリーズ

フォトマスクリペア装置 MRシリーズ

集束イオンビーム(FIB)修正技術を導入したFPD用フォトマスク欠陥修正装置です。
チャンバ内にローテーション機構を採用したことにより、スペース効率を高め、設置面積を抑えました。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社日立ハイテク

    特長

    1. FPDマスクに対応
      最大1400×1600mmの大型フォトマスクに対応可能です。
    2. 高い結合力を持つフィルムを形成可能
      特別なガスを使用することで、Crフィルムに勝るとも劣らない高い結合力を持ったフィルムをマスク上に形成できます。
    3. グレートーンマスク修正への対応
      FIBのカーボンデポジション機能により、ハーフトーン膜を用いたグレートーンマスク上の白欠陥も修正できます。

    仕様

    仕様
    マスクサイズ 最大:1400×1600mm
    最少:6インチ
    最大厚さ:15mm
    最少厚さ:5mm
    修正精度 50nm@3σ
    白欠陥修正方法 FIBカーボンデポジション
    黒欠陥修正方法 ガスアシストエッチング

    参考文献・発表リスト

    フォトマスクリペア装置の参考文献・発表をまとめています。

    保守・サービス

    装置の保守・サービス会社のご案内です。