世界を変えた FE電子顕微鏡- IEEEマイルストーン認定- 世界を変えた FE電子顕微鏡- IEEEマイルストーン認定-ENGLISH

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電子顕微鏡の功績

1972年世界に先駆けてFE-SEMを実用化

SEMの高分解能化に貢献

分解能を制限する要因だった電子源の輝度。
輝度が極めて高いFE電子源を応用できないか?
それがSEMの高分解能化を実現するブレークスルーだった。

HFS-2

1984年半導体計測器として測長SEMを実用化

半導体デバイスの微細化に貢献

激しい開発競争が繰り広げられる半導体産業。
「見る」から「測る」へとFE-SEMを進化させ、微細寸法の計測技術を確立。
世界を一歩、リードした。

S-6000

1985年AIDSウイルスの観察・撮影に成功

医療やバイオ分野の発展に貢献

「見えた!」
そこに写っていたのは球状と思われていたAIDSウイルスだが、
実際には起伏の多いコンペイトーのような形をした姿だった。

UHS-T1にて撮影 鳥取大学名誉教授 田中敬一先生ご提供

1986年未解明だったアハラノフ・ボーム効果を検証

科学技術の検証・発展に貢献

理論上の議論は数多く繰り返された。
それでもアハラノフ・ボーム効果*論争解決の決め手にはならない。
これに決着をつけたのはFE-TEMを用いた電子線ホログラフィーだった。

*アハラノフ・ボーム効果:
1959年にブリストル大学のヤキール・アハラノフ氏とデビッド・ボーム氏によって理論的に見出された、「電子は電場も磁場も存在しない空間でも電磁ポテンシャルの影響を受ける」という現象。磁場を完全に閉じ込めたドーナツ型超電導磁石の電子顕微鏡写真において、電子の干渉縞(写真の横縞)がずれた。これが電磁ポテンシャルの影響を示す決め手となり、アハラノフ・ボーム効果が完全実証された。

アハラノフ・ボーム効果の検証写真