停電および電源休止時にFE電子銃の真空排気を自動で継続します。
真空排気停止後に必要な電子銃のコンディショニングを不要とし、常に安定した動作状態を保つことができます*。
停電時の電源切換えは自動で行います。コネクタ等の接続変更などの特別な操作は不要です。
取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング
項目 | 内容 |
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停電時の排気継続時間 | 24時間(1週間に1回) 10日間(3ヵ月以上間隔をいた場合) |
バッテリ交換 | 2年に1回 |
寸法 | 250(縦)×410(横)×360(高さ)mm |
切換え方式 | 装置本体から供給されているイオンポンプ駆動電源が切れると、本装置から駆動電圧を供給します。 |
設置環境 | 室温:15~25℃ 湿度:60%以下 電源:単相AC100V、±10%、50/60Hz |