イオンポンプバックアップ電源

停電および電源休止時にFE電子銃の真空排気を自動で継続します。

真空排気停止後に必要な電子銃のコンディショニングを不要とし、常に安定した動作状態を保つことができます^*。

停電時の電源切換えは自動で行います。コネクタ等の接続変更などの特別な操作は不要です。

取扱会社：株式会社日立ハイテクフィールディング

仕様

項目	内容
停電時の排気継続時間	24時間（1週間に1回） 10日間（3ヵ月以上間隔をいた場合）
バッテリ交換	2年に1回
寸法	250（縦）×410（横）×360（高さ）mm
切換え方式	装置本体から供給されているイオンポンプ駆動電源が切れると、本装置から駆動電圧を供給します。
設置環境	室温：15～25℃ 湿度：60％以下電源：単相AC100V、±10％、50/60Hz

*: 本製品を使用した場合、停電時でも電子銃の真空度を維持できますが、SE-TIP、LMISの加熱は停止します。停電復帰後、SE-TIPおよびLMISのコンディショニングは必要となります。

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