半導体装置：日立ハイテクフィールディング

ナノレベルを追求する回路のさらなる微細化やウェハの大口径化など、半導体製造技術の進化はとどまるところを知りません。私たちは、半導体製造装置や評価・検査装置システムを対象に、装置の稼動率維持と、製造プロセスに関する応用技術を提供し、さらには既存装置の改良保全までトータル的にサポートしています。

［主なサービス対象製品］
エッチング装置、測長装置（走査電子顕微鏡）、ウェーハ表面検査装置、光アッシャ装置、電子線描画装置など。

製造装置

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