ページの本文へ

Hitachi

日立ハイテクサイエンス

自動位置決め機能により、試料台の上にサンプルを置くだけで、試料観察光学系の焦点を数秒以内に自動的に合わせることができます。これにより、従来は手動で行っていた焦点合わせの操作が無くなり、測定にかかわるスループットが格段に向上しました。

価格 ¥6,100,000~

取扱会社:株式会社 日立ハイテクサイエンス

特長

1. 試料を置くだけで測定可能

自動位置決め機能により、サンプルを置くだけで、数秒以内に試料観察光学系のフォーカスを合わせます。

2. 50nmの薄金メッキの膜厚を10秒で測定

最適レイアウトで微小ビームの高感度化を実現し、微小コリメータ(φ0.1、0.2mm)での膜厚測定精度が向上しました。

3. 標準試料なしの測定が可能

薄膜FPソフト拡充により、厚み標準物質なしでも測定が可能です。多層膜や合金膜の測定が簡単に行えます。

4. 広域観察システムによる簡単位置決め

広域観察システムにより、試料全体像(最大250×200mm)を観察し、特定部の測定位置を容易に指定することができます。

仕様

タイプFT110A
測定元素 原子番号Ti(22)~Bi(83)
線源 小型空冷式X線管球
管電圧50(可変)kV
管電流: 10~1000µA
検出器 比例計数管
コリメータ ○型: 0.1mmΦ、0.2mmΦ 他2種
試料観察 CCDカメラ(広域観察可能)
焦点合わせ レーザーポインタ(自動)
フィルタ 一次フィルタ: 自動切替え
試料ステージ [固定] 535×530mm
[電動] 260×210mm (移動量 X:250mm, Y:200mm)
測定ソフト 薄膜FP法 (最大5層膜、10元素)、検量線法
安全機能 試料扉インターロック、試料の衝突防止機能、装置診断機能

 

アプリケーションデータ

膜厚測定装置の測定例を紹介します。

高性能蛍光X線膜厚計 FT150シリーズ

FT150シリーズの概要や測定例をご紹介します。

保守・サービス

装置の保守・サービス会社のご案内です。