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ディスプレイ

多槽バッチ式ウェットステーション

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多槽バッチ式ウェットステーション

バッチ式洗浄・剥離・エッチング処理に適応した装置です。ワークのディップ処理から乾燥までの連続処理が可能です。

スピンプロセッサー(MSP-1)

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スピンプロセッサー(MSP-1)

少量生産・研究開発などに適した処理装置です。ワークのケミカル処理から乾燥までの一括処理が可能です。

マルチスピンプロセッサー(MSP-2)

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マルチスピンプロセッサー(MSP-2)

量産、大量生産向けの枚葉式処理装置です。各ユニットをセパレート化することにより、装置停止することなくメンテナンスが可能です。

MEMSデバイス装置

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MEMSデバイス装置

MEMSデバイス装置の紹介ページです。

薄膜装置

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薄膜装置

薄膜装置の紹介ページです。

LED熱抵抗測定装置

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LED熱抵抗測定装置

1.⊿VF法によるLED熱抵抗測定 2.大電流対応により、LED素子及びLEDモジュール測定へ対応 3.電源の「高速応答性」「安定性」「大電流対応」 ⇒ 定常&過渡熱抵抗測定の実現 4.温度係数測定機能(恒温槽との取り合い可能) 5.多素子切替機能(MAX100ch)

Plasma Cleaner

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Plasma Cleaner

IC、LED、PCB、LCD等の電子部品製造工程でのクリーニング、表面改質等で幅広くお使いいただける装置です。 バッチ装置と処理量に特化したインライン装置をご提案します。

プラズマ処理装置 デスミア/デスカム/表面改質

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プラズマ処理装置 デスミア/デスカム/表面改質

独自の電極構造を用いたプラズマ処理装置です。リジットプリント基板からフレキシブルプリント基板まで豊富なラインナップから最適な装置をご提案します。

電子スキャン方式高速超音波映像装置 ES5100

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電子スキャン方式高速超音波映像装置 ES5100

電子スキャン(=フェーズドアレイ方式)で最大周波数75MHzを実現した超音波映像装置です。

超音波映像装置 FineSAT III

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超音波映像装置 FineSAT III

超音波映像装置FineSATは、半導体パッケージ、電子部品、セラミック・金属・樹脂部品などの内部ボイド、クラック、剥離などの欠陥を、超音波を使って非破壊で映像化する装置です。X線装置、赤外線検査装置、光学顕微鏡では検出できないナノメーターレベルの隙間も検出することができます。

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)

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走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)の紹介ページです。

走査型白色干渉顕微鏡 VS1330

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走査型白色干渉顕微鏡 VS1330

光干渉方式の特徴であるスピード・精度・分解能をそのままに、ISO国際標準に準拠した汎用計測ユニットとしてお使いいただける単眼ベースモデルです。 顕微鏡タイプのため微分干渉ユニットが装着でき微分干渉像も手軽に観察可能です。 卓上・小型タイプのコンパクト設計で場所をとらず、表面粗さ管理や膜厚管理といった検査工程に適したモデルです。

ナノ3D光干渉計測システムVS1800

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ナノ3D光干渉計測システムVS1800

ナノ3D光干渉計測システムVS1800は、光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。また、多層膜の層構造および層内部の異物計測を非破壊で行うことも可能です。

電子顕微鏡(SEM/TEM/STEM)

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電子顕微鏡(SEM/TEM/STEM)

電子顕微鏡(SEM/TEM/STEM)の紹介ページです。

集束イオンビーム(FIB/FIB-SEM)

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集束イオンビーム(FIB/FIB-SEM)

集束イオンビーム(FIB/FIB-SEM)の紹介ページです。

電子顕微鏡周辺装置

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電子顕微鏡周辺装置

電子顕微鏡周辺装置の紹介ページです。

Chemicals Informatics

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Chemicals Informatics

Chemicals Informaticsの紹介ページです。

フィールド機器・分析計

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フィールド機器・分析計

フィールド機器・分析計の紹介ページです。

製造実行系システム

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製造実行系システム

製造実行系システムの紹介ページです。

プロセス電子プリンター CyberPrinter

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プロセス電子プリンター CyberPrinter

EXシリーズの印刷文書であるメッセージ・帳票出力・ハードコピー・ドキュメント出力を取り込み、電子データとして表示・蓄積・印刷することができるプロセス電子プリンターです。

パネル計器

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パネル計器

パネル計器の紹介ページです。

総合計装システム EX-N01A

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総合計装システム EX-N01A

日立総合計装システムEXシリーズは1975年の発売以来、化学、薬品、食品をはじめ、エネルギー、水処理、環 境などさまざまな分野の監視制御システムとして多くのお客様にご利用していただいてきました。 今回、これまで日立が積み上げてきた信頼性の上に、適正なオペレーション環境をゼロから見直し、操作性を飛 躍的に向上させ、エンジニアリング機能は、ユーザ視点で刷新しました。最高のオペレーションへの答え、それ が「EX-N01A」です。

各種抵抗器

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各種抵抗器

各種抵抗器の紹介ページです。

金型管理サービス

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金型管理サービス

金型管理サービスの紹介ページです。

計測・試験・分析 受託評価サービス

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計測・試験・分析 受託評価サービス

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日立ハイテクの材料開発ソリューション

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日立ハイテクの材料開発ソリューション

MI(マテリアルズ・インフォマティクス)に関する各種サービス〔材料データ分析環境提供サービス、トライアル材料データ分析環境提供サービス、データ分析支援サービス、データ分析教育サービス、実験装置連携サービス(開発中)、計測・試験・分析 受託評価サービス〕をご提供します。