卓上X線検査装置
TX-320を搭載
自社開発高分解能・高輝度X線源TX-320を搭載
高精細なX線撮像が容易に微細な構造欠陥やショートの解析等を早く正確に作業効率向上にお役立てできます。
弊社Ｘ線源の特長
世界初、高分解能・高輝度を実現するサブミクロンの超微小焦点Ⅹ線源
- 高分解能を保証
- 高分解能0.4µmをJIMAチャートで保証
- 高輝度
- LaB6フィラメント
- 長波長のＸ線により、樹脂やアルミ等、透過し易い材質で観察が可能
- 低電圧でも明るい
- 撮像時間が早い
- ５段階分解能切替機能
- 0.4µm・0.6µm・1µm・2µm・3µmの5段階切替
主な仕様
ＴＵＸ-3300Ｎ 主な仕様
| 最高分解能（マイクロチャート） | 0.4μｍ（JIMAチャート） |
| X線出力 管電圧/管電流 | 20～130ｋV/ 10～200μA |
| 最大幾何倍率 | 1200倍 |
| 最大モニター倍率 | 7200倍 |
| ステージサイズ | 直径φ400mm |
| 最大検査範囲 | 335mm×300mm |
| 検出器 | 4インチI. I |
| カメラ | 500万画素 |
- 世界最高峰の分解能でＪＩＭＡチャート0.4μmを保証
- 低電圧でも高輝度を実現した解析用途のX線検査装置
- 最大モニター倍率7200倍、最大幾何倍率1200倍の高倍率での観察が可能
バンプ検査機能
-
ウエハマイクロバンプ内
-バンプ内ボイド検出- ボイド面積率
- ボイド直径率
- バンプ間ショート
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バンプ計測
- 直径寸法、
- 真円度計測
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結果出力はウエハ毎に
-CSVファイルに出力
-取得画像（生画像）
-検査結果画像
PC内またはHOSTに保存可能
Φ20μmバンプボイド検出実績有り
観察事例
パッケージ内のCuワイヤー（径20µm）
AuワイヤーよりコントラストがつきにくいCuワイヤーを、非破壊で観察することができます
ＣＴ像を３Ｄ化をするとワイヤピッチによりますが立体クロスワイヤの接触の確認も可能です。
