大型フォトマスク洗浄装置
FPD用フォトマスクのスピン洗浄装置です。
高精細化に対応した各種洗浄ツールで品質向上に貢献します。
特長
- 小～大までさまざまな基板サイズに対応
- スタンドアロン～MGV対応の自動機まで対応
- 気流制御を考慮したスピンカップ
オプション
物理洗浄
- ブラシスクラブ、メガソニック、2流体、UVなど
ケミカル洗浄
- 各種薬液対応、温水、機能水、薬液調合/温調/供給ユニットなど
基板反転機構
- 各種サイズ対応スピンチャック(一部サイズ兼用)
