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計測ソリューションのラインアップをご紹介いたします。
EUV世代デバイスの量産に対応した高信頼性CD-SEM
CG6300では、電子光学系を一新することにより分解能を高め、測長再現性および画質の向上を図りました。
高加速電圧45kVのインラインCD計測SEM装置
高速広域スキャンと大電流技術及び高性能処理サーバを組合せた、新コンセプトの検査計測システム
CS4800は 4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEMです。
日立ハイテク
日立ハイテクトップ