計測ソリューション

計測ソリューションのラインアップをご紹介いたします。

高分解能FEB測長装置　CG7300

EUV世代デバイスの量産に対応した高信頼性CD-SEM

CG6300では、電子光学系を一新することにより分解能を高め、測長再現性および画質の向上を図りました。

高加速電圧45kVのインラインCD計測SEM装置

高速広域スキャンと大電流技術及び高性能処理サーバを組合せた、新コンセプトの検査計測システム

CS4800は 4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEMです。