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高精度電子線計測システム GT2000

高精度電子線計測システム GT2000

High-NA EUV世代のデバイス開発と量産におけるニーズに応えたCD-SEM

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特長

  • High-NA EUV工程向け超低加速電圧100V条件ならびに超高速多点計測機能
  • 3Dデバイス構造向け高感度反射電子用検出システム
  • 装置間測長値差の極小化を実現する新プラットフォームおよび新電子光学系
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代表的な加速電圧条件でのSEM像とシュリンク量評価結果

「GT2000」製品紹介動画

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