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計測ソリューション

計測ソリューションのラインアップをご紹介いたします。

高加速測長SEM装置 CV6300 Series

高加速測長SEM装置 CV6300 Series

高加速電圧45kVのインラインCD計測SEM装置

高信頼性FEB測長装置 CG7300

高信頼性FEB測長装置 CG7300

EUV世代デバイスの量産に対応した高信頼性CD-SEM

高分解能FEB測長装置 CG6300

高分解能FEB測長装置 CG6300

CG6300では、電子光学系を一新することにより分解能を高め、測長再現性および画質の向上を図りました。

高分解能FEB測長装置 CS4800

高分解能FEB測長装置 CS4800

CS4800は 4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEMです。

電子線高速広領域検査システム GS1000

電子線高速広領域検査システム GS1000

高速広域スキャンと大電流技術及び高性能処理サーバを組合せた、新コンセプトの検査計測システム