計測ソリューション
計測ソリューションのラインアップをご紹介いたします。
CD-SEM
高精度電子線計測システム GT2000
High-NA EUV世代のデバイス開発と量産におけるニーズに応えたCD-SEM
高分解能FEB測長装置 CG7300
EUV世代デバイスの量産に対応した高信頼性CD-SEM
高加速CD-SEM装置 CV7300
高加速電圧60kVのインラインCD計測SEM装置
高分解能FEB測長装置 CS4800
CS4800は 4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEMです。