VPD-ICPMS、TXRF法
手順
- ウェーハをＨＦ雰囲気中で気相分解（VPD）し、ウェーハ上の自然酸化膜や生成膜をエッチングします。
- 1.のウェーハにＨＦなどの回収液を落とし、ウェーハ表面の不純物を回収液内に溶解させます。
- VPD-ICPMS法 ：回収液を直接ICPMSやZAAで測定します。
- VPD-TXRF法 ：回収液をウェーハ上で、赤外線ランプや減圧乾燥後、TXRFで測定します。
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