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VPD-ICPMS、TXRF法

手順

  1. ウェーハをHF雰囲気中で気相分解(VPD)し、ウェーハ上の自然酸化膜や生成膜をエッチングします。
  2. 1.のウェーハにHFなどの回収液を落とし、ウェーハ表面の不純物を回収液内に溶解させます。
  • VPD-ICPMS法 :回収液を直接ICPMSやZAAで測定します。
  • VPD-TXRF法 :回収液をウェーハ上で、赤外線ランプや減圧乾燥後、TXRFで測定します。
VPD-ICPMS、TXRF法

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