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日立ハイテク
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消耗品 / 膜厚測定装置　保守・サービス情報

標準物質

標準箔

(単位 µm)
種類 No. 厚み
Au 蒸着 GAA-1322 0.01
蒸着 GAA-1199 0.05
蒸着 GAA-1200 0.1
蒸着 GAA-1096 0.25
蒸着 GAA-1097 0.5
蒸着 GAA-1098 1
  GAA-1099 2
  GAA-1100 3
  GAA-1101 5
Ni 蒸着 GAA-1326 0.1
蒸着 GAA-1118 0.25
蒸着 GAA-1119 0.5
  GAA-1121 1
  GAA-1120 2
  GAA-1122 5
  GAA-1123 10
  GAA-1124 20
  GAA-1203 27.5
Ag 蒸着 GAA-1209 0.1
蒸着 GAA-1210 0.25
  GAA-1088 1
  GAA-1089 2
  GAA-1090 5
  GAA-1091 10
  GAA-1092 20
  GAA-1219 50
Cu 蒸着 GAA-1104 0.25
蒸着 GAA-1105 0.5
  GAA-1106 1
  GAA-1108 2
  GAA-1109 5
  GAA-1110 10
  GAA-1111 20
  GAA-1112 35
Fe   GAA-1201 2.5
  GAA-1202 5
Sn 蒸着 GAA-1217 0.25
蒸着 GAA-1218 0.5
蒸着 GAA-1135 1
  GAA-1136 2
  GAA-1137 5
  GAA-1138 10
  GAA-1139 20
  GAA-1140 50
Pb 蒸着 GAA-1205 0.25
蒸着 GAA-1192 1
蒸着 GAA-1125 2
  GAA-1126 5
  GAA-1127 10
Zn   GAA-1147 2.5
  GAA-1229 5
  GAA-1148 10
  GAA-1149 20
Co 蒸着 GAA-1103 0.05
蒸着 GAA-1255 0.1
蒸着 GAA-1261 0.25
蒸着 GAA-1250 0.5
裏打 GAA-1214 1
  GAA-1215 3
Ti 蒸着 GAA-1141 0.5
蒸着 GAA-1142 1
  GAA-1143 5
  GAA-1144 10
Al   GAA-1158 1
  GAA-1093 5
  GAA-1094 8
  GAA-1095 12.5
  GAA-1260 25
In 裏打 GAA-1113 5
  GAA-1114 10
  GAA-1259 15
Pd 蒸着 GAA-1329 0.01
蒸着 GAA-1276 0.05
蒸着 GAA-1207 0.1
蒸着 GAA-1208 0.25
蒸着 GAA-1330 0.5
  GAA-1128 1
  GAA-1166 2
  GAA-1173 3
  GAA-1129 5
  GAA-1243 8
  GAA-1241 12.5
Rh 蒸着 GAA-1211 0.1
蒸着 GAA-1212 0.25
裏打 GAA-1133 0.5
裏打 GAA-1134 1
Pt   GAA-1130 0.5
  GAA-1131 1
  GAA-1132 4
  GAA-1191 5
Cr 蒸着 GAA-1102 0.05
蒸着 GAA-1107 0.1
蒸着 GAA-1157 0.25
蒸着 GAA-1204 0.5
蒸着 GAA-1179 1
裏打 GAA-1182 10
Mo   GAA-1115 4
  GAA-1116 10
  GAA-1117 20
Cd   GAA-1258 1
  GAA-1257 2
  GAA-1249 5
  GAA-1251 10
  GAA-1256 15
W   GAA-1145 6
  GAA-1146 8

組成板

　　　　　　　
(単位 ％)
種類 No. 組成
Ni-P GAA-1075 P（9）
Sn-Ni GAA-1222 Sn（70）
Zn-Ni GAA-1220 Zn（90）
Pd-Ni GAA-1165 Pd（80）
Sn-Pb GAA-1164 Sn（60）
Sn-Pb GAA-1228 Sn（90）
Sn-Zn GAA-1216 Sn（70）
Sn-Ag GAA-1236 Ag（3.5）
Sn-Cu GAA-1252 Cu（3）

標準板

(単位 µm)
種類 No. 厚み
Ag/Cu GAA-1174 0.5
GAA-1151 1
GAA-1175 2
GAA-1150 5
GAA-1197 10
GAA-1187 20
Au/Cu
二層用		 GAA-1155 0.5
GAA-1154 2
Au/Ni GAA-1153 0.5
GAA-1152 2
Ni/Cu GAA-1242 2
GAA-1170 5
GAA-1184 10
GAA-1169 20
Ni/Fe GAA-1186 5
GAA-1167 10
GAA-1168 20
Pb/Cu GAA-1161 2
GAA-1162 5
GAA-1188 10
Sn/Cu GAA-1160 5
GAA-1159 10
GAA-1185 20
Zn/Fe GAA-1247 5
GAA-1172 10
GAA-1171 20

素材および表面

種類 No.
Ag GAA-1064
Al GAA-1066
Au GAA-1084
BS GAA-1067
Cd GAA-1248
Co GAA-1246
Cr GAA-1068
Cu GAA-1069
Bi GAA-1240
Fe GAA-1070
In GAA-1071
Kov GAA-1072
Mo GAA-1073
Ni GAA-1074
Pb GAA-1078
PBP GAA-1076
PBSP GAA-1077
Pd GAA-1079
Pt GAA-1081
Rh GAA-1082
Sn GAA-1086
SUS GAA-1198
Ti GAA-1087
W GAA-1083
Zn GAA-1063
42Alloy GAA-1178

検定板および検定箔

(単位 µm %)
種類 No. 仕様
Ag/Ni/Cu GAA-1176 Ag（1）/Ni（10）
Au/Ni/Cu GAA-1156 Au（1）/Ni（10）
Ni-P/Cu GAA-1177 10 µm
P 9%
Ni-P/Fe GAA-1221 10 µm
P 9%
Sn-Pb
Sn90%箔		 GAA-1223 5 µm
GAA-1225 10 µm
Sn-Pb
Sn80%箔		 GAA-1224 5 µm
GAA-1226 10 µm
Sn-Pb
Sn60%箔		 GAA-1183 6 µm
GAA-1227 10 µm
Sn-Ag
Ag3.5%箔		 GAA-1237 5 µm
GAA-1238 10 µm
GAA-1239 15 µm
Sn-Cu
Cu3%箔		 GAA-1269 5 µm
GAA-1268 10 µm
GAA-1267 15 µm
Sn-Bi
Bi1%箔		 GAA-1274 10 µm
GAA-1273 20 µm
Sn-Bi
Bi3%箔		 GAA-1272 5 µm
GAA-1254 10 µm
GAA-1253 15 µm
Sn-Bi
Bi4%箔		 GAA-1277 10 µm
GAA-1278 20 µm

国際規格ISO/IEC17025に基づいたJABの認定対象品（JABマーク付き証明書）
Au, Ni, Ag, Cu, Sn, Zn, Ti, Pd, Pt, Pb, Ag/Cu, Sn/Cu, Zn/Fe

* Au0.01 µm,Ni0.1 µmはJAB認定対象外です。

* Pd (0.01 µm, 0.05 µm, 0.1 µm, 0.25 µm)はJAB認定対象外です。

* 特注品の定期検査はお問い合わせください。

標準物質検査関連一覧

No. 品名
GAA-1231 標準物質物理試験値のトレーサビリティ体系図（和文）
GAA-1232 標準物質物理試験値のトレーサビリティ体系図（英文）
K-W10400765 SFT標準物質試験報告書再発行

蛍光X線膜厚計消耗品

No. 品名
GAA-1230 標準板用サンプルベース（埋込ベース）10個/組
CCT-0004 SFT標準物質プラスチックケース（素材用）10個/組
K-W10400771 SFT標準物質プラスチックケース（箔用）10個/組
GAA-0277 メッキ液測定用カップ
GBE-0002 メッキ液測定用ピペット
CDA-4000 SFT110用ファンフィルター 5枚/組
CCY-4000 シロッコフィルターFLBM8
CAB-4001 ハロゲンランプJCR12V-100WB 2個/組
CCU-4123 ハロゲンランプJCR15V150W5H/5 2個/組
FCP-3001 ハロゲンランプJCR 15V150WB（ノーマルコート仕様）1個
日立ハイテクアナリシス-標準物質試験所-

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