メンテナンスサービス

半導体評価装置　予防保全対応

電子光学系、排気系、ステージ系、ローダー系、ミニエン搬送システム系など、お客様のニーズに合わせた保守メニューを豊富に取り揃えています。

半導体評価装置　オーバーホール対応

HVコントロールユニット、DC電源、電子銃アノード、ターボ分子ポンプユニット、回転アームユニット、搬送ロボットユニットなど、豊富なオーバーホールメニューを各種準備しています。