半導体評価装置 予防保全対応
電子光学系、排気系、ステージ系、ローダー系、ミニエン搬送システム系など、お客様のニーズに合わせた保守メニューを豊富に取り揃えています。
取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング
対象装置
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日立高精度電子線計測システム
GT2000、GT2000S、GT2000E -
日立高分解能FEB測長装置
S-8820、S-8840、S-8C40、S-9200、S-9220、S-9260、S-9260A、CS4800、CS5000、
S-9300、S-9360、S-9380、S-9380Ⅱ、CG4000、CG4100、CG4500、CG5000、CG6300、CG7300 -
日立高加速CD-SEM
CV5000、CV6300、CV7300 -
日立高速欠陥レビューSEM
RS-3000、RS-4000、RS-5000、RS-5500、RS6000、CR6300、CR7300 -
日立半導体プロセス評価SEM
S-7800、S-7800H、S-7840 -
日立ウェーハ表面検査装置
LS-6600、LS-6700、LS-6800、LS-7800、LS9110、LS9200、LS9300、LS9300A、LS9600 -
日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置
IS3000、IS3200 、IS4100、DI4200、DI2800、DI4600 -
日立マスク基板検査装置
GM-1000、GM-1000A -
電子線高速広領域検査システム
GS1000 -
日立欠陥形状評価SEM
CT1000 -
ミラー電子式検査装置
Mirelis VM1000
