チラー（Chiller）
チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造装置のほかにさまざまな種類の産業機器、計測機器、食品加工機器、理化学機器等に用いられます。
取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング
特長と実績
- 冷媒は、オゾン層を破壊しないR-407C（HFC系）を採用しています。
- 故障時、メンテナンス時にはバックアップチラー切り替えにより、24時間365日の運転が可能です。
- 下記は仕様例です。
- カスタマイズに対応いたしますので、お気軽にご相談ください。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 使用温度範囲 | +10～+25 [℃] |
| 温度精度 | <±0.05 [℃] |
| 冷凍能力 | 28/30 [kW] （50/60Hz） |
| 循環流量 | 110～240 [L/min] |
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