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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

アライメントステージ特長

  • 高分解能: 0.1μm (実働分解能)
  • 長Stroke: XY ±10mm, Θ ±49mrad
  • 高負荷: 高推力 Type Linear Motor採用
  • 薄型/高剛性: UVWR方式 (4軸駆動)


Accuracy: 0.1μm step feed (load 100kg)

ご参考(有機EL用マスク組立装置)

マスク組立装置仕様

マスク組立装置仕様
項 目仕 様
マスクフレーム G6H(+G4.5Hマスク×4)
位置決め方式 ガラスマスター方式
固定方式 レーザー溶接
装置サイズ 装置本体          : 7.0×4.0×H3.4m (サーマルチャンバー)    (電装盤ほか突起物除く) フットプリント       : 15×10m
環境 装置設置環境 : 23±1.5℃, 40~55%RHのクリーンルーム        : 振動 VC-C以上 装置内環境  : 設定温度 23℃
重量 約24t
テーパー加工 別途御相談