多機能スリットコーター
取扱会社：株式会社 日立ハイテク
曲面スリットコーター
特長
- 平面はもちろん、凹/凸面、凹凸、フレキシブルへ塗布が可能
- ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた角度に旋回可能
- 最適化されたスリットダイ
- メンテナンスを考慮した設計
- 最適な気泡抜き設計
- 高粘度樹脂対応可
- 樹脂漏れ防止構造
- 最適な内部圧力設計
- 最適なリップデザイン
- Gap調整機構
仕様
| 仕様項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| テーブルサイズ | (W)300mm x (D)600mm | |
| 対象サイズ | 小型~15inch | Flat面及び曲面 (R500~R1000想定) |
| 樹脂塗工厚み | 50µm-800µm | Flat面での実績値 |
| 樹脂塗工厚み精度 | 50µm-100µm： ±10µm 100µm-800µm： ±10% |
Flat面での実績値 Flat面での実績値 |
| スリットダイ塗工幅 | 最大幅 200mm | 拡張可能 |
| スリットダイ可動幅 | 可動範囲 ±30° (曲面R500相当) |
|
| ワーク吸着方式 | 真空吸着 | |
| 対応可能粘度 | 1000~150000mPa･s |
可変スリットコーター
特長
当社独自の塗布幅可変機構
- 塗布中の連続での幅可変が可能
- 樹脂漏れ防止構造
- シムにてgap切替が可能
曲面への塗布が可能
- 凹面、凸面、凹凸面への塗布が可能
- 塗布面へダイが垂直となる制御
仕様
| 仕様項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| Table Size | (W)300mm x (D)600mm | |
| 対象Size | 小型~15inch | Flat面及び曲面 (R500~R1000想定) |
| 樹脂塗工厚み | 50µm-800µm | Flat面での実績値 |
| 樹脂塗工厚み精度 | 50µm-100µm： ±10µm 100µm-800µm： ±10% |
Flat面での実績値 Flat面での実績値 |
| Slit Die塗工幅 | 可変幅：100～200mm | 拡張可能 |
| Slit Die揺動領域 | 揺動範囲： ±30° (曲面R500相当) |
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| Work Piece吸着方式 | 真空吸着 | |
| 対応可能粘度 | 1000~150000mPa･s |
