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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

卓上X線検査装置

  • 世界最高峰の分解能を誇る、自社開発X線源による、解析用途X線検査装置
  • ユーザーライクなデザインによる「使い易い」装置
  • オプションによる
    • 3次元CT解析
    • 加熱動画観察
    • 自動検査装置

TX-320を搭載

自社開発高分解能・高輝度X線源TX-320を搭載
高精細なX線撮像が容易に微細な構造欠陥やショートの解析等を早く正確に作業効率向上にお役立てできます。

弊社Ｘ線源の特長

世界初、高分解能・高輝度を実現するサブミクロンの超微小焦点Ⅹ線源

  1. 高分解能を保証
    • 高分解能0.4µmをJIMAチャートで保証
  2. 高輝度
    • LaB6フィラメント
    • 長波長のＸ線により、樹脂やアルミ等、透過し易い材質で観察が可能
    • 低電圧でも明るい
    • 撮像時間が早い
  3. ５段階分解能切替機能
    • 0.4µm・0.6µm・1µm・2µm・3µmの5段階切替

 


開放管型X線源（TX-310）

主な仕様

ＴＵＸ-3300Ｎ　主な仕様

ＴＵＸ-3300Ｎ　主な仕様
最高分解能（マイクロチャート） 0.4μｍ（JIMAチャート）
X線出力　管電圧/管電流 20～130ｋV/ 10～200μA
最大幾何倍率 1200倍
最大モニター倍率 7200倍
ステージサイズ 直径φ400mm
最大検査範囲 335mm×300mm
検出器 4インチI. I
カメラ 500万画素

  • 世界最高峰の分解能でＪＩＭＡチャート0.4μmを保証
  • 低電圧でも高輝度を実現した解析用途のX線検査装置
  • 最大モニター倍率7200倍、最大幾何倍率1200倍の高倍率での観察が可能

バンプ検査機能

  • ウエハマイクロバンプ内
    -バンプ内ボイド検出
    • ボイド面積率
    • ボイド直径率
    • バンプ間ショート
  • バンプ計測
    • 直径寸法、
    • 真円度計測

 

  • 結果出力はウエハ毎に
    -CSVファイルに出力
    -取得画像（生画像）
    -検査結果画像
    PC内またはHOSTに保存可能
    Φ20μmバンプボイド検出実績有り

観察事例

パッケージ内のCuワイヤー（径20µm）

AuワイヤーよりコントラストがつきにくいCuワイヤーを、非破壊で観察することができます


【観察機種】透過観察機


1ｓｔ部　透過観察


2nd部 透過観察

ＣＴ像を３Ｄ化をするとワイヤピッチによりますが立体クロスワイヤの接触の確認も可能です。


【観察機種】直交型CT機