自社開発高分解能・高輝度X線源TX-320を搭載
高精細なX線撮像が容易に微細な構造欠陥やショートの解析等を早く正確に作業効率向上にお役立てできます。
開放管型X線源(TX-310)
最高分解能(マイクロチャート) | 0.4μm(JIMAチャート) |
X線出力 管電圧/管電流 | 20~130kV/ 10~200μA |
最大幾何倍率 | 1200倍 |
最大モニター倍率 | 7200倍 |
ステージサイズ | 直径φ400mm |
最大検査範囲 | 335mm×300mm |
検出器 | 4インチI. I |
カメラ | 500万画素 |
AuワイヤーよりコントラストがつきにくいCuワイヤーを、非破壊で観察することができます
【観察機種】透過観察機
1st部 透過観察
2nd部 透過観察
CT像を3D化をするとワイヤピッチによりますが立体クロスワイヤの接触の確認も可能です。
【観察機種】直交型CT機