自動X線ウエハバンプ検査装置
自社製X線源 TX320
世界最高峰の高分解能
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５段階分解能切替機能
-異なるサイズや形状のバンプやTSV検査に最適
(0.4, 0.6, 1.0, 2.0, 3.0um焦点サイズ ) -
安定した信頼性の高いX線源
-再現性の高い検査が可能
-明るいX線により、- 撮像時間が早く検査時間の短縮化、
- ウエハへのダメージ軽減可能
TUX-8000 概略仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| サイズ | 2674mm W×2496mm d×2536mm H (2 FOUP-Type) |
| 重量 | 3500kg(2 FOUPs Type) |
| X線源 | TX-320 (Tohken original) 20-120kV /200uA |
| 対応ウエハWafer size | ～300mmまで対応 |
| ロードポート | 1 or 2 FOUP (オプション対応) |
| システム構成 | ロードポート部 ロボット搬送部 アライナー X線検査ステージ |
| その他 | ESD常時表示 クラス100対応 GEM/GEM300 サポート OHT 対応 (オプション） オフラインマニュアル検査対応 8/12- インチウエハ共有対応（オプション） |
バンプ検査機能
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ウエハマイクロバンプ内
-バンプ内ボイド検出- ボイド面積率
- ボイド直径率
- バンプ間ショート
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バンプ計測
- 直径寸法、
- 真円度計測
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結果出力はウエハ毎に
-CSVファイルに出力
-取得画像（生画像）
-検査結果画像
PC内またはHOSTに保存可能
Φ20μmバンプボイド検出実績有り
