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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

大型フォトマスク洗浄装置

FPD用フォトマスクのスピン洗浄装置です。
高精細化に対応した各種洗浄ツールで品質向上に貢献します。

特長

大型フォトマスク洗浄装置

  • 小~大までさまざまな基板サイズに対応
  • スタンドアロン~MGV対応の自動機まで対応
  • 気流制御を考慮したスピンカップ

オプション

物理洗浄

  • ブラシスクラブ、メガソニック、2流体、UVなど

ケミカル洗浄

  • 各種薬液対応、温水、機能水、薬液調合/温調/供給ユニットなど

基板反転機構

  • 各種サイズ対応スピンチャック(一部サイズ兼用)