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Hitachi

Hitachi High-Technologies in Korea

주사전자현미경SU3800, SU3900 발매

—대형・중량 Sample에 대응하는 Sample stage탑재 및 조작성 향상 실현—

2019 년 4 월 3 일

히타치 하이테크놀로지즈코리아 주식회사

 2019년4월3일 주식회사 히타치 하이테크놀로지즈(TSE:8036/ 이하 히타치 하이테크)는 대형・중량 Sample를 취급할 수 있고, 계측 작업의 자동화와 광역 카메라 네비게이션으로조작성을 향상시킨 주사전자현미경 「SU3800」(중형 Sample대응), 「SU3900」(대형 Sample대응) 의 판매를 개시합니다.

SU3800
SU3800

SU3900
SU3900

 SEM은 나노 기술과 바이오 기술 분야를 필두로 모든 산업 분야에서 물질의 미세 구조에서부터 조성에 이르기까지 다방면에 걸쳐 관찰과 분석에 활용되고 있습니다. 이러한 SEM의 활용 분야와 용도가 확대되고 있지만, 철강 등의 공업 재료와 자동차 관련 부품 소재 등에서 대형・중량 Sample은 Sample을 탑재하는 스테이지의 크기와 중량에 제한이 따르게 되어 Sample을 관찰하기 위해서는 절단 등의 가공 과정이 필요했습니다. 따라서 대형 Sample을 가공을 하지 않고 미세표면형상을 관찰하고 분석하는 것은 해결해야 할 과제였습니다.
 최근에 들어서는 각종 재료의 고기능화/고성능화를 도모하기 위해 미세구조의 제어가 필요하게 되어 SEM의 활용 용도는 종래의 연구개발뿐만 아니라 품질보증과 생산관리에도 확대되어 활용 빈도는 더욱 높아지고 있습니다. 이에 따라 SEM의 조작성 향상을 통해 사용자의 부담을 경감시키는 것이 필요합니다.

 이번에 발매하는 「SU3800」과 「SU3900」은 대형・중량 Sample 관찰에 사용 가능하고, 조작성을 더욱 향상시킨 제품입니다. 특히, 「SU3900」 은 히타치 하이테크의 SEM Line Up에 있어서 최대인 300mm직경*1, 탑재 가능 중량5kg(종래 대비 2.5배*2)의 Sample stage를 구비하고 있어 대형Sample의 경우에도 절단 등의 가공을 하지 않고 관찰이 가능합니다.
 아울러 Sample 설정 이후 전자 빔 조사에서부터 화상조정까지의 작업을 자동화하여 관찰 개시 후 곧바로 SEM영상을 취득할 수 있어 신속한 관찰이 가능합니다.
 또한 종래의 CCD카메라의 단일 칼라 화상으로 대응했던 시야 찾기*3에 비해 Sample Stage를 회전하여 Sample전체를 분할 촬영하고 각 화상을 연결함으로써 대형Sample의 넓은 관찰 영역에서의 시야 찾기를 가능하게 한 카메라 네비게이션을 실현하였습니다.

 4월 29일(월)부터 5월 1일(수)까지 미국(클리브랜드)에서 개최되는 「Ceramics Expo」, 5월 7일(화)부터5월 10일(금)까지 독일(슈투트가르트)에서 개최되는「33rd Control」 및 9월 4일(수)부터 9월 6일(금)까지 일본(마쿠하리 멧세)에서 개최되는 전시회에서는 실제 기기를 전시할 예정입니다.

*1
300mm직경 Sample Stage의 경우 기존 「S-3700N」과 동일
*2
기존 「S-3700N」과의 비교. 단, 비교 내용은 Sample Stage의 평면 이동 시의 중량 제한에 한함
*3
시야찾기: 관찰 시작 시 현재 관찰 위치를 파악하는 작업

주요한 특징

1. 대형・중량 Sample에 대응

    최대 탑재 가능 Sample 크기: 「SU3800」 은 직경200mm의 Sample Stage를 탑재하여, 높이 80mm, 중량 2kg의 Sample까지 대응 가능. 「SU3900」은 300mm 직경의 Sample stage을 탑재하여, 높이 130mm, 중량 5kg(종래 대비2.5배*2 )의 Sample까지 대응 가능

    2. 넓은 영역 대응

    • 최대 관찰 가능 범위: 「SU3800」 은 직경 130mm, 「SU3900」 은 직경 200mm실현
    • 가이드 화면에서 관찰 목적 위치를 지정하는 것만으로 시야 이동이 가능한 「SEM MAP」 탑재
    • 여러 장의 고 배율 화상을 다른 시야에서 자동적으로 촬영하고 취득한 영상을 연결하여 광역 화상을 작성하는 시스템「Multi Zigzag」 탑재

    3. 자동화에 따른 조작성 향상

    • 전자 빔 조사에서부터 각종 화상조정까지의 작업을 자동화하여 Sample 설정 완료 후 곧바로 관찰 개시 가능. 화상 조정의 경우 자동 기능 실행 시의 대기시간을 기존 기종 대비*4 1/3이하로 단축
    • 필라멘트*5의 상태를 자동으로 감시 제어하고 교환 시간의 기준을 표시하는 소프트웨어 「Intelligent Filament Technology(IFT)」탑재. 장시간의 연속 관찰 및 입자 해석 등 광역 분석 시에도 필라멘트 수명이 다하여 관찰 작업이 중단되는 것을 방지할 수 있음
    *4
    기존 제품「S-3700N」과의 비교.
    *5
    필라멘트:진공 중에서 전기를 통하게 가열하는 것에 의해서 열 전자를 방출시키는 재질이며, 전자원의 핵심부분으로 광원의 역할을 한다.

주요 사양

주요 사양
  SU3800 SU3900
이차전자상 분해능 3.0nm (가속전압:30kV、고진공 모드)
15.0nm (가속전압:1kV、고진공 모드)
반사전자상 분해능 4.0nm (가속전입:30kV、저진공 모드)
가속전압 0.3~30kV
배율 ×5~×300,000(사진 배율)、×7~×800,000 (실표시 배율)
Sample stage X:0~100mm、Y:0~50mm、Z:5~65mm、T:-20°~90°、R:360° X:0~100mm、Y:0~50mm、Z:5~65mm、T:-20°~90°、R:360°
최대 탑재 가능 Sample 크기 200mmØ 300mmØ
최대 관찰 가능 범위 130mmØ (R병용) 200mmØ (R병용)
최대Sample 두께 80mm(WD=10mm) 130mm(WD=10mm)

문의처

나노테크놀로지 솔루션 총괄본부
해석시스템부 영업부
담당: 허석 010-4880-6271/ 031-206-1533
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