집속 이온 빔 (FIB/FIB-SEM)
집속 이온 빔 가공관찰장비 (FIB), 집속 이온/전자 빔 가공장비(FIB-SEM), FIB-SEM 장비를 소개합니다.
고성능 FIB-SEM 복합장비 Ethos NX5000
[Ethos]는 히타치하이테크 코어 기술인 고휘도 냉음전계방출형 전자총과 신개발 전자계 중량형 렌즈로 저가속전압에서 고분해능 관찰을 가능하게하여 리얼타임 FIB가공,관찰을 양립 시켰습니다.
실시간 3D Analytical FIB-SEM 장비 NX9000
FIB에 의한 단면 제작과 SEM 관찰을 자동으로 반복함에 따라 단면 Image를 연속으로 수집하여 특정 미소 부분을 3차원 구조로 재구축할 수 있습니다.
Micro Sampling® 시스템
Micro Sampling은 FIB 가공 장비 내에서 이온 빔과 Probe를 사용하여 Bulk 시료의 임의 위치로부터 Micro Sample을 적출할 수 있는 시스템입니다.