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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

전계방출형 투과전자현미경 HF-3300

안정된 초고분해능과 새로운 해석수법을 겸비한 차세대 FE-TEM이 등장!

정평이 난 고휘도냉음극전계방출 전자총과 300 kV 고가속전압의 조합을 통해 초고분해능 관찰과 고감도 분석 모두를 가능하게 합니다.
또한 나노전자선 회절*1과 위치분해형 EELS*1, in situ SEM/STEM 관찰*1을 통해 종래에 없던 높은 정밀도와 유니크한 해석을 실현합니다.

*1
:옵션

Pt/C 촉매의 in situ SEM/STEM 관찰 사례
공기 도입과 함께 수nm의 Pt 입자가 질소 운반체 표면에서 매몰되고 내부로 응집하면서 입자성장해 가는 모습이 관찰되고 있습니다 (왼쪽: SEM Image, 오른쪽: ADF-STEM Image)

특징

고휘도냉음극전계방출형 전자총 (Cold FE)

고휘도와 고에너지 분해능을 동시에 얻을 수 있는 냉음극전계방출형 전자총이 나노 오더 분석의 새로운 경지를 엽니다.
그 높은 간섭성은 초고분해능 관찰이나 전자선 Holography*1에도 크게 기여합니다.

300 kV의 고가속 전압

두꺼운 시료도 고분해능 관찰이 가능합니다. 금속, 세라믹 등 전자선이 투과하기 어려운 시료의 관찰에도 위력을 발휘합니다.

새로운 분석 수법

새롭게 채용된 나노전자선 회절*1, 위치분해형 EELS*1, in situ SEM/STEM 관찰*1이 고도화・다양화하는 분석 니즈를 충족시켜줍니다.

FIB/NB*1와의 Holder Linkage

히타치 FIB/NB*1와 시료 홀더를 공용화하여, 시료 제작부터 TEM 분석까지의 효율성이 큰 폭으로 향상됩니다. 또한 3D 해석 홀더*1와 STEM*1의 조합을 통한 다방향 구조 해석도 지원합니다.

뛰어난 조작성

Windows® PC에 의한 TEM/STEM*1 제어, 모터 구동 압축, 5축 모터 구동 Stage의 채용으로 조작성을 향상시켰습니다. 고압 승압 소요 시간 10분, 시료 교환 소요 시간 1분으로 높은 Throughput을 실현합니다.

*1
:옵션

사양

항목내용
전자원 W (310) 냉음극전계방출형
가속전압 300 kV, 200 kV*1, 100 kV*1
Image 분해능격자 Image 0.10 nm
입자 Image 0.19 nm
Information Limit 0.13 nm
배율Low Mag 모드 200~500배
High Mag 모드 2,000~1,500,000배
Image 회전 ±5°이내 (High Mag 모드, 1,000,000배 이하에서)
최대시료경사각 ±15°
카메라 길이 300~3,000 mm
*
:상기 내용은 가속전압 300 kV시 사양입니다.
*1
:옵션

관찰 사례

재료

Au단결정[110] 고분해능 TEM Image

Au단결정[110] 고분해능 TEM Image
Accelerating voltage : 300 kV

MWCNT 고분해능 TEM Image

MWCNT 고분해능 TEM Image
Accelerating voltage : 100 kV

Graphene 고분해능 TEM Image

Graphene 고분해능 TEM Image
Accelerating voltage : 60 kV

Pt/C 촉매가스 도입시료 가열 in situ SEM/STEM 관찰

Pt/C 촉매가스 도입시료 가열 in situ SEM/STEM 관찰
Temperature : 200°C
Gas: H2, O2

가스 분위기 EELS 스펙트럼 분석

가스 분위기 EELS 스펙트럼 분석
Accelerating voltage : 300 kV
Gas : H2, O2, Air

Crocidolite (Asbestos) 고분해능 Lorentz TEM Image

Crocidolite (Asbestos) 고분해능 Lorentz TEM Image
Accelerating voltage : 300 kV
Instrument : HF-3300S WG-P.P. with B-COR TEM corr.
Data courtesy of CEMES-CNRS, France

Fe 나노큐브 고분해능 Lorentz 재구성위상 Image

Fe 나노큐브 고분해능 Lorentz 재구성위상 Image
Accelerating voltage : 300 kV
Instrument : HF-3300S WG-P.P. with B-COR TEM corr.
Data courtesy of CEMES-CNRS, France

반도체

22 nm Node FinFET 단면 TEM Image

22 nm Node FinFET 단면 TEM Image
Accelerating voltage : 300 kV
Prepared by NX2000 1 kV Ar ion milling

Applications(Global)

Hitachi TEM Application Data

Technical magazine
"SI NEWS"

This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.

nanoart(Global)

Photo collections of beauty of metals, minerals, organisms etc. reproduced by the electron microscope and finished more beautifully by computer graphic technology.

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