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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

테이블탑 현미경 TM4000/TM4000Plus

탁상 SEM이 또 한번 변화하였습니다.

더 고화질로, 더 사용하기 쉽게, 더 관찰하기 쉽게.
고객의 Needs, ‘더 좋게’, ‘더 쉽게’ 를 만족시킨 최신 테크놀로지를 탑재한 TM4000시리즈입니다.
탁상 SEM의 세계를 넓혀, 고객님의 이노베이션 창출을 도와드리겠습니다.

특징

직감적인 조작으로 목적 데이터를 레포트 작성까지 지원합니다.

「시료 전처리 과정 없이, 바로 장비에 장착하여 간단하게 목적 데이터를 취득」하고자 하는 고객 Neads에 만족시키기 위해, TM4000시리즈에서는 장비 전체의 기능들을 재검토하였습니다. 최대 지름 80 mm, 두께 50 mm의 시료 사이즈에 대응가능하며, 장비에 내장된 광학카메라(옵션)로 시야찾기가 용이해 졌습니다.
시료를 탑재하고 나서 Image를 취득하기까지의 시간은 약 3분. 형상 관찰부터 원소 분석, 레포트 작성까지, 일련의 과정을 이전보다 크게 단축하였습니다.

Camera Navi(옵션)

카메라 화상으로 빠른 시야찾기, MAP기능으로 관찰을 서포트합니다.

Report Creater

화상과 템플릿 선택만으로, Word®, Excel®, Powerpoint®형식의 레포트를 완성!

 

새로운 설계의 전자광학계로 한층 더 고화질을 실현

시료: 시멘트 5kV UVD
시료: 시멘트 5kV UVD

오일프리 배기계를 채용한, 장소에 제한이 없는 환경배려형 SEM

오일프리 펌프와, 중심을 맞추기가 필요 없는 카트리지 필라멘트를 채용

사양

항목TM4000PlusTM4000
배율 ×10~×100,000 (사진 배율)
×25~×250,000 (모니터 배율)
가속 전압 5 kV、10 kV、15 kV
화상 신호 반사전자
2차전자
합성(반사전자+2차전자)
반사전자
진공모드 전도체(반사전자만 가능)
표준
대전 경감
표준
대전경감
화상모드(반사전자) 표준, 그림자 1, 그림자 2, 요철
시료 가동범위 X: 40 mm Y: 35 mm
최대 시료 사이즈 80 mm (지름) 50 mm (두께)
전자총 Precentered Cartridge Type
Tungsten Hairpin Filament
검출기 반사전자: 고감도 4분할반사전자 검출기
이차전자: 고감도 저진공이차전자 검출기
반사전자: 고감도 4분할반사전자 검출기
자동 화상 조정 기능 Auto Start, Auto Focus, Auto Brightness
보존 화상 사이즈 2,560×1,920 화소, 1,280×960 화소, 640×480 화소
파일형식 BMP, TIFF, JPEG
데이터 표시 µmarker, µ수치, 배율, 날짜, 시간, 화상 No.WD, 코멘트, 가속전압, 진공모드, 화상모드, 화상 신호
배기계(진공 펌프) Turbo 분자 펌프: 67 L/s 1대
Diaphragm 펌프: 20 L/min
조작 보조 기능 Raster Rotation, 배율 Preset(3단)
Image Shift (±50 µm @ WD6.0 mm)
보호 기능 과전류 보호기능 탑재, 누전차단기 내장
크기・무게 본체: 330 (W)×614 (D)×547 (H) mm, 52 kg(Motor Drive Stage)
본체: 330 (W)×617 (D)×547 (H) mm, 52 kg(Manual Stage)
Diaphragm 펌프: 144 (W)×270 (D)×216 (H) mm

관찰 사례

1개의 샘플에도 평가 포인트는 다양합니다.
전자 빔의 조건(가속전압), 검출신호를 바꾸어, 평가 목적에 맞는 Image를 취득할 수 있습니다.

观察示例

가속전압에 대해

TM4000시리즈에서는, 가속전압을 5 kV, 10 kV, 15 kV로 설정하여 관찰할 수 있습니다.
가속전압을 바꾸었을 때, 아래와 같은 Image를 얻을 수 있습니다.

가속전압에 대해

옵션 부속품

에너지 분산형 X선 분광기 TM4000/TM4000Series

TM시리즈전용의 에너지분산형 X선분석장치 Quantax75

(Hitachi High-Technologies Corporation 협력사인 Bruker Nano GmbH가 제조)

TM시리즈전용의 에너지분산형 X선분석장치 AZtec시리즈

(Hitachi High-Technologies Corporation 협력사인 Oxford Instruments Analytical Ltd.가 제조)

Technical magazine
"SI NEWS"

This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.

nanoart(Global)

Photo collections of beauty of metals, minerals, organisms etc. reproduced by the electron microscope and finished more beautifully by computer graphic technology.

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