全面启动“日立高新技术先端SEM技术特别合作研究项目”

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2018年3月26日
日立高新技术公司
筑波大学

　日立高新技术公司（执行董事兼总裁：宫崎正启/以下简称“日立高新技术”）与筑波大学（校长：永田恭介）于4月1日正式启动“日立高新技术先端SEM^*1技术特别合作研究项目”（科研代表：伊藤雅英教授/以下简称“本项目”），双方就在筑波大学内成立研发中心，未来三年共同推进技术创新研究事宜达成一致。在本项目中，双方将携手共同研究SEM基础技术，日立高新技术长年的技术沉淀与累积，再加上筑波大学人才济济、扎实的理论知识和雄厚的财力，势必会推动新产品研发的过程，促进社会产业的发展。

　SEM可以观察到纳米尺度的微细结构，而且无需复杂的前处理。因此，它的应用范围十分广泛，目前已应用到纳米技术、生物技术等各个领域的研究开发、质量管理中。在以云服务以及IoT业务范围扩展为目的的半导体元器件开发、药物研发等生命科学领域中，SEM主要用于产品的观察、分析以及检测，未来有望为社会以及产业的发展壮大作出更多的贡献。

　因此，电子枪和信号探测器等SEM基础技术的开发尤为重要。在基础技术开发中我们不但要追求思维创新，还要注重企业的开放式创新研究。

　电子束作为日立高新技术的核心技术，同时这也是它多年来累积的SEM基础技术。凭借独有的创新技术，迄今为止日立高新技术开发成功的产品数不胜数，且高居全球市场占有率之首，例如：用于半导体元器件检测的高分辨率FEB测长仪器（SEM测长仪），用于新材料结构分析的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）等等。筑波大学作为筑波科学城的核心，汇集了多家技术先进的科研机构，不但拥有雄厚的资金实力，能够助力新技术研发，而且这里人才辈出，个个学识渊博，具有丰富的研究开发经验。为了进一步落实科研成果在产业界的实际应用，我们还建立了“特别合作研究项目制度^*2”，通过校企合作模式，我们正在积极推进课题研究。

　在开展本项目的过程中，我们还将充分发挥双方的优势，致力于更难SEM基础技术课题的研究，努力实现高分辨率、高精度、高通量的技术研发。同时，我们会将在校企合作的开放式创新中取得的科研成果应用到产品更新升级中，不断研发出新型SEM以及SEM的应用产品，为IoT等社会基础设施、新材料的实际应用、病理诊断、制药等领域建设贡献力量。

　在本项目中，日立高新技术和筑波大学会最大限度发挥双方的技术实力、知识水平以及人力、财力等各种资源，推进研究开发工作，满足用户更广泛的需求。同时，为实现开放式创新，我们会更加重视人才培养，努力构建全新的技术网络。

*1

SEM（Scanning Electron Microscope）：扫描电子显微镜

*2

特别合作研究项目制度：指以科研成果的实际应用为目标，企业和筑波大学共享课题研究成果，以企业项目负责人被雇佣为学校老师的形式，校企共同推进项目研究的制度

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