—可获得样品的各种信息，实现高通量分析—
2018年7月31日，日本株式会社日立高新技术公司（TSE：8036，日立高新技术）于7月31日正式推出肖特基场发射扫描电镜SU7000，它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间，真正实现了高通量的观察与分析。
SU7000外观图
扫描电子显微镜（SEM）可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号，获得从微细结构到组成成分等各种信息，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大，对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求。
此次推出的SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离（工作距离／以下简称WD），以设置合适的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。
而且，SU7000还配置了可同时6通道显示界面（前代机型只能同时显示4通道），进一步升级SEM控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高通量观察。
它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。
日立高新技术将在8月5日（星期日）～8月9日（星期四）在美国马里兰州举办的“Microscopy & Microanalysis”及9月5日（星期三）～9月7日（星期五）在幕张展示中心（千叶县千叶市）举办的“JASIS 2018”上展示这款SU7000，预计每年全球销量有望达150台。
日立高新技术科学系统事业部以2020年成为电子显微镜行业佼佼者为中期战略目标，今后仍将全力推动产品研发与市场推广，努力为全球制造业作出更大的贡献。作为事业创新型企业，今后以成为提供高新技术和解决方案的专业型企业为目标，始终站在客户的立场，快速满足客户和市场需求。
| 产品名称 | SU7000 |
|---|---|
| 电子源 | ZrO/W热场发射（肖特基热场发射） |
| 二次电子分辨率 | 0.8 nm（加速电压 15 kV） 0.9 nm（加速电压 1 kV） |
| 加速电压 | 0.1～30 kV |
| 放大倍率 | 20～2,000,000倍 |
| 束流 | 最大200 nA |
| 样品台 | X/Y/Z : 135 x 100 x 40（mm） |
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