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Hitachi

日立高新技术在中国

电子源

Applied Physics Technologies, Inc.主要生产用于分析和测试设备和金属3D打印机的电子源。

主要产品

CeBix®

材料 六硼化铈(CeB6)
六硼化铈(CeB<sub>6</sub>)
特点 长寿命、高亮度、抗污染(LaB6比较)
热电子枪 扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、电子线微量分析仪(EPMA)表面分析仪、金属3D打印机、微焦X射线源、平版印刷机 等等

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LaB6

材料 六硼化镧(LaB6)
特点 长寿命,高亮度(钨丝比较)
用途 扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、电子线微量分析仪(EPMA)表面分析仪、金属3D打印机、微焦X射线源、平版印刷机 等等

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高熔金属单晶

材料 材料:W, Ta, Mo, Re, Ir, Hc, Pt, Ni 等等
特点 通过使用本公司设备的区域精炼制法,制造高纯度高品质的单晶。
用途 扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、半导体分析仪、X射线管、EPMA、电子束描绘装置 等等

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遷移金属炭化物電子源

材料 HfC, ZrC, TiC, NbC 等等
特点 熔点、高耐久性、低蒸发率(长寿命)、即使在低真空环境下也能发挥高性能。
用途 现有热电子源的高性能化、研究用材料、各种电子源应用等

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电子源类型

电子源类型
比较项 热离子 (W) 热离子 (LaB6/CeBix®) 肖特基(SE)电子源 场发射(FE)电子源
电子束发射方法 加热W发丝 加热细径单晶 针状金属加热和高压(利用肖特基效应) 针状金属高压(利用隧道效应)
亮度 ◎+
单色性
分辨能力 ◎+
电流量
稳定性
寿命
成本
操作性