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Hitachi

日立高新技术在中国

1. 前言

 台式显微镜"TM4000" (以下简称"TM4000" )及"TM4000Plus" (以下简称"TM4000Plus" )由日立高新技术公司(执行董事兼总裁:宫崎正启/以下简称为日立高新技术)自主研发,并于2017年7月25日起向日本及海外市场发售。这两种机型可简化日常工作,提高工作效率,为客户的研究开发和制造业的分析业务提供帮助。
 台式显微镜作为扫描电子显微镜(SEM)在生物技术和材料等领域得到广泛应用。该系列由日立高新技术于2005年4月开始销售,可放在办公桌上,设计紧凑,比普通SEM更受广大用户欢迎。它不仅应用于研究机构,而且还越来越广泛地应用于工业领域,成为制造业品质管理的利器。
 下面为您介绍TM4000/TM4000Plus的特点及相关应用。

2. TM4000/TM4000Plus的概要和特点

 图一为TM4000Plus外观图片。"TM4000"和"TM4000Plus" 可简化从样品观察、图像确认到生成报告等一系列操作过程,大幅提高了工作效率。还标配了报告生成功能,观察结束后可十分轻松地将拍摄的图像制作成Microsoft®Word®、Excel®、PowerPoint®格式的报告。此外,选配项还可实现更多功能。

图一:TM4000Plus外观
图一:TM4000Plus外观

主要規格

TM4000/TM4000Plus具有以下三大特点

  1. 标配低真空模式,简化样品前处理
    采用低真空,不导电样品也无需喷金,可以直接观察,大大提高了工作效率。全自动聚焦和亮度对比度调整,只需按几个按钮就可以拍摄图片,简单快捷。
  2. 可根据不同样品设置不同的观察条件
    样品仓内的真空度及加速电压有多种选择,可根据需求自行设置。
  3. 简化寻找视野、图像拍摄、图像确认等一系列操作过程(选配)
    在样品仓上可选配光学相机,样品开始观察前先拍摄样品的整体照片,双击照片上的样品,即可实现照片导航功能。

3. TM4000/TM4000Plus在不良分析中的应用

 TM4000/TM4000Plus除了操作上简单快捷之外,可通过配置AZtecOne探测器,实现高通量EDX分析。AztecOnedeTruMap功能可实时分离出常规面分析图像中的谱峰重叠元素,经背底处理后,最终显示正确结果。下面就介绍几个TM4000和TM4000Plus通过EDX对工作中出现异常的情况进行的解析。

3.1

3.2

3.3

4.总结

 TM4000/TM4000Plus两种机型经过全新设计,尺寸和重量比前代机型更小。此外样品无需喷镀,直接启动设备,快速且简单获取目标样品数据"需求。可观察最大直径为80 mm,厚度为50 mm的样品。设备内置光学相机 (选配),可轻松寻找目标样品。从装样到获取图像仅需3分钟左右,优化了原来的形状观察、元素分析到报告制作的工作流程。还可选配光学相机和双轴马达台,今后将会被应用到更广泛的领域。