検査ソリューション

検査ソリューションのラインアップをご紹介いたします。

パターン付きウェハ欠陥検査装置

高感度検出と高スループット検査による高速製品モニタリングを実現。歩留まり向上と生産コスト削減に貢献する次世代対応暗視野式ウェーハ欠陥検査装置です。

G&Cデバイスの製造工程中のパターンサンプル上に発生する欠陥検出と管理に貢献

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは，パターンなし（鏡面）シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

高速ADR、高精度ADCにより歩留まり改善に貢献するインライン対応レビューSEM

欠陥及びパターン形状の3D観察でG&Cデバイスの開発TAT短縮と品質向上に貢献