暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI4200
特長
高感度検出と高スループット検査を両立
- 暗視野式イメージング方式により、高感度、高速モニタリングを実現。
マルチモード検査機能搭載により検出能力向上
- Killer工程での高感度検査とモニタリング工程での高スループット検査などに切り替え可能。検査可能な工程が拡大。
ユーザフレンドリな操作性
- シンプルなパラメータ設定によるレシピ作成。
仕様
| ウェーハサイズ | φ300 mm専用 |
|---|
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