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日立ハイテク
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検査ソリューション

検査ソリューションのラインアップをご紹介いたします。

レビューSEM

レビューSEM

レビューSEMのラインアップをご紹介いたします。

日立ウェーハ表面検査装置 LSシリーズ

ウェーハ表面検査装置 LSシリーズ

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは,パターンなし(鏡面)シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI4600

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI4600

高感度検出と高スループット検査による高速製品モニタリングを実現。歩留まり向上と生産コスト削減に貢献する次世代 対応暗視野式ウェーハ欠陥検査装置です。

日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI2800

日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI2800

G&Cデバイスの製造工程中のパターンサンプル上に発生する欠陥検出と管理に貢献

ミラー電子式検査装置 Mirelis VM1000

ミラー電子式検査装置 Mirelis VM1000

ミラー電子式検査装置
Mirelis VM1000は、SiCバルクウェーハの加工ダメージ、エピタキシャルウェーハの積層欠陥や基底面転位といった結晶欠陥を非破壊で検査します。