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電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)のラインアップをご紹介します。

製品一覧

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000

冷陰極電界放出形電子銃と、低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000は、日立FE-SEMの最上位機種で、0.4nmの世界最高分解能を実現しています。0.34nmの高分解能を誇るSTEMに加えて、従来のSEMでは難しかった、EELSやディフラクションの測定にも対応できます。

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超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 Regulusシリーズ

Regulusシリーズは冷陰極電界放出形電子銃とセミインレンズ型対物レンズを組み合わせ、大きな試料でも超高分解能観察が可能です。試料サイズ・解析目的に応じて、ステージ等が異なる、4つのモデルを用意しています。

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超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU7000

複数の二次電子信号と反射電子信号の同時取得で、多様な信号を迅速に取得。
最多6チャンネルの信号同時表示・保存がイメージング能力を最大化します。
大型試料室や低真空対応機能により、FE-SEMに求められる多様な観察ニーズに応えます。
さらに、ショットキーエミッター搭載の電子銃により照射電流は最大200 nAまで到達可能。マイクロアナリシスや、将来の分析手法の多様化・拡張にも備えます。

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ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000

SU5000はショットキー電子銃とアウトレンズ型対物レンズを組み合わせ、様々な大きさ・組成の試料の高分解能観察・各種分析に対応しています。ドローアウト試料室により、加熱・引張りステージを利用したアプリケーションにも対応可能です。
また、あらゆるユーザーのSEM体験をサポートする独自のユーザーインターフェース、EM Wizardを搭載しています。

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光-電子相関顕微鏡法(CLEM)用システム MirrorCLEM

MirrorCLEMは、光学顕微鏡と走査電子顕微鏡による同一箇所の観察を容易にするCLEM用システムです。

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関連情報

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)に関する測定手法、測定例の一部を、会員制情報検索サイト「S.I. navi」でご提供しています。
リストの一部はこちらからご覧いただけます。

S.I.navi

「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。

Semevolution

日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。

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