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Hitachi High-Tech Korea Co.,Ltd.
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형광X선 도금 두께 측정기 FT160시리즈

형광X선 도금 두께 측정기  FT160시리즈

미소・미세한 전자부품 등에 적용되는 나노 오더 레벨의 도금 두께 측정에 있어서 폴리캐피러리 광학계, 고성능 반도체 검출기를 탑재하여 높은 정확성과 높은 처리량을 실현한 형광 X선 도금 두께 측정기 최신 모델입니다.

특징

X선 광학계에 폴리캐피러리를 채용

약 30μmφ의 고휘도 1차 X선을 조사하여 고정밀 측정을 실현하였습니다.

고성능 반도체 검출기(SDD)를 채용

고계수율 반도체 검출기(SDD)로 고정밀 측정을 실현하였습니다.

화상 처리 소프트웨어에 의한 자동 측정 어시스트 기능

정확한 다점 자동 측정에 의한 고효율화를 실현하고 있습니다.

간단한 소프트웨어 디자인 및 도움말 기능으로 간편한 조작이 가능

일상적인 루틴 측정은 등록된 응용 프로그램을 사용하여 간단하게 측정할 수 있습니다.

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작업자의 안전・안심을 배려한 장치 디자인

X선 노출 위험이 매우 적은 밀폐형 케이스를 채용하고 있습니다. 또한 도어개폐부를 크게 설계하여 시료의 시인성과 조작성을 추구하였습니다.

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사양

모델명 FT160S FT160Sh FT160 FT160h FT160L FT160Lh
X선 발생원 표준 고 에너지 표준 고 에너지 표준 고 에너지
Mo W Mo W Mo W
측정대상원소 13Al ~92U
시료 대(mm) 300(W) × 245(D) 420(W) × 320(D) 620(W) × 620(D)
측정가능한시료크기(mm) 300(X) × 245(Y) × 80(Z) 400(X) × 300(Y) × 100(Z) 600(X) × 600(Y) × 20(Z)

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