Nano-probing System

미소디바이스 특성평가 장비 Nano Prober NP6800

NP6800은 10 nm 이하의 디바이스도 분석 가능한 SEM 기반의 Nano Probing 전용기입니다. 정밀 Piezo Actuator를 XYZ 3축에 탑재, 탐침 또한 정밀하게 제어하여 실제 회로 상에 접촉시켜, 단일소자인 MOS Transistor 특성 측정이 가능하게 합니다. 제품의 컨셉은, 광학 기계식 Probing 시스템의 용이한 조작성을 SEM의 진공환경에서도 동일하게 실현하는 것으로, 탐침 조작은 직감적으로 진공 중임을 느끼지 못하게 설계된 Probing System입니다.