Nano-probing System

미소디바이스 특성평가 장비 Nano Prober NP8000

5nm 이후의 첨단 디바이스 해석을 지원하는 SEM 기반 Nano Probing 전용기입니다.
전자 광학계를 비롯한 개량에 의해 종래 장치에 비해 보다 안정적으로 전기 특성 측정 및 EBAC 해석을 실시하는 것이 가능하며, 불량 부분을 nm 오더까지 좁히는 것이 가능합니다.