주사형 Probe 현미경 (SPM)
주사형 Probe 현미경 (SPM) 라인업을 소개합니다.
중형 Probe 현미경 시스템 AFM5500M
XY200 µm 의 넓은 영역 주사와 더불어, 뒤틀림을 억제한 Flat 스캐너로 직선성 높은 계측을 실현할 수 있는 중형 SPM입니다. 또한 Cantilever의 장착・교환, 광축 조정을 자동화함에 따라 Operator의 부담을 큰 폭으로 경감하였습니다. 또한, SEM과 SPM 시료의 동일한 부분을 간단하게 측정할 수 있는 AFM&SEM Linkage System 탑재가 가능합니다.