Leica 高真空コーティング装置 EM ACE600

特長

• 高い再現性
  水晶膜厚ユニットと自動制御の3軸可動の試料ステージなどを装備し、高度な自動成膜機構を有しています。
• クリーニングのしやすさ
  フロント・ドア、ソース・シャッター、チャンバーの内部遮蔽ユニット、および蒸着源とステージは着脱可能で、高品質サンプルを前処理するための清浄環境を確実にします。
  コンパクト設計小さな設置面積は、より有効に研究室スペースを活用いただけます。
• 簡単操作
  直観的操作のタッチスクリーンを搭載。フロント・ドアは、快適なロック機能付きです。さらに、ターゲット交換はツール・レス、コネクタは、簡単なプッシュ操作で完了です。
• カスタマイズ可能な多機能性
  ACE600の構成には、多様なニーズを満たす選択性があります。
• クライオ・コーティング
  標準的な室温環境のコーティング装置に、オプションのクライオシステムを組み込むことが可能です。

仕様