走査電子顕微鏡
走査電子顕微鏡SU3800/SU3900は、リチウムイオン二次電池の生産現場において、受入検査や工程異物の解析など幅広く活用できます。粒子の微細表面形状評価、3次元形状解析、EDS組成分析など多角的な解析が可能です。各種解析の自動化も可能で、リチウムイオン二次電池の生産性向上に大きく寄与します。
SU3800/SU3900は多目的大型試料室を搭載し、大型試料の解析や多種のアクセサリを搭載することで正極材などについても多角的な評価を行うことができます。また、最大200mm径(SU3800)、最大300mm径(SU3900)の試料を搭載可能な大型試料室を実現し、多試料の一括解析も可能です。