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Hitachi

株式会社 日立ハイテク

ディフェクトレビューSEM CR7300 Series

高速ADR、高精度ADCにより歩留まり改善に貢献するインライン対応レビューSEM

特長

  • 最先端デバイス開発、量産に対応したSEM分解能
  • 電気特性(R / C)を半導体プロセスの途中で指標化することが可能
  • 自社比2倍の高スループット
  • 3nm世代に対応したパターン無しウェーハ上の欠陥レビューと分析が可能
  • AI-ADC(自動欠陥分類)搭載により欠陥分類精度向上

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