データステーション

特長

• データステーション上でレシピ編集を行うことで測長SEMの稼働率を向上できます。
• 基本操作は測長SEMと同様です。

主な機能

• レシピのリモート管理
• 稼動状況のモニタリング
• 測長結果の自動収集
• レシピの同期機能

対象装置

日立ハイテク製CD-SEM（詳細はお問い合わせください）

ご相談・お問い合わせ先

株式会社　日立ハイテクフィールディング　お客様サポートセンタ

電話でのお問い合わせは、お客様サポートセンタ（フリーコール）までお願いいたします。

0120-203-813（24時間受付）

FAX :03-5379-1685

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