ページの本文へ

Hitachi

株式会社 日立ハイテク

データステーションは、レシピをリモートで一括管理するためのPCです。

取扱会社:株式会社 日立ハイテク

特長

  • データステーション上でレシピ編集を行うことで測長SEMの稼働率を向上できます。
  • 基本操作は測長SEMと同様です。

主な機能

  • レシピのリモート管理
  • 稼動状況のモニタリング
  • 測長結果の自動収集
  • レシピの同期機能

対象装置

日立ハイテク製CD-SEM(詳細はお問い合わせください)

ご相談・お問い合わせ先

株式会社 日立ハイテクフィールディング お客様サポートセンタ

電話でのお問い合わせは、お客様サポートセンタ(フリーコール)までお願いいたします。

フリーコール

0120-203-813(24時間受付)

FAX :03-5379-1685

関連製品