データステーション

データステーションは、レシピをリモートで一括管理するためのPCです。

取扱会社：株式会社日立ハイテク

特長

日立ハイテク製CD-SEM（詳細はお問い合わせください）

株式会社　日立ハイテクフィールディング　お客様サポートセンタ

電話でのお問い合わせは、お客様サポートセンタ（フリーコール）までお願いいたします。

0120-203-813（24時間受付）

FAX :03-5379-1685

測長SEMの稼動率向上を支援するソフトウェアです。

電子光学系、排気系、ステージ系、ローダー系、ミニエン搬送システム系など、お客様のニーズに合わせた保守メニューを豊富に取り揃えています。

HVコントロールユニット、DC電源、電子銃アノード、ターボ分子ポンプユニット、回転アームユニット、搬送ロボットユニットなど、豊富なオーバーホールメニューを各種準備しています。

CG6300では、電子光学系を一新することにより分解能を高め、測長再現性および画質の向上を図りました。