データステーション
特長
- データステーション上でレシピ編集を行うことで測長SEMの稼働率を向上できます。
- 基本操作は測長SEMと同様です。
主な機能
- レシピのリモート管理
- 稼動状況のモニタリング
- 測長結果の自動収集
- レシピの同期機能
対象装置
日立ハイテク製CD-SEM(詳細はお問い合わせください)
ご相談・お問い合わせ先
株式会社 日立ハイテクフィールディング お客様サポートセンタ
電話でのお問い合わせは、お客様サポートセンタ(フリーコール)までお願いいたします。
0120-203-813(24時間受付)
FAX :03-5379-1685
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