データステーション

データステーションは、レシピをリモートで一括管理するためのPCです。

取扱会社：株式会社日立ハイテク

特長

日立ハイテク製CD-SEM（詳細はお問い合わせください）

株式会社　日立ハイテクフィールディング　お客様サポートセンタ

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0120-203-813（24時間受付）

FAX :03-5379-1685

レシピをオフラインで自動作成設計データ応用計測システム

測長SEMの稼動率向上を支援するソフトウェアです。

電子光学系、排気系、ステージ系、ローダー系、ミニエン搬送システム系など、お客様のニーズに合わせた保守メニューを豊富に取り揃えています。

HVコントロールユニット、DC電源、電子銃アノード、ターボ分子ポンプユニット、回転アームユニット、搬送ロボットユニットなど、豊富なオーバーホールメニューを各種準備しています。