オフラインレシピ作成システム
RecipeDirector
特長
- 設計データを活用してウェーハ作成前にレシピを準備できるため、ウェーハ作成直後からレシピが実行可能です。
- 測長位置を指定するだけで、最適なアドレッシングとAF位置が自動で選択されるため、レシピ作成時間を大幅に短縮できます。
- 顧客上位システム・他ソフトウェアとの連携I/Fにより、完全自動化システムを容易に構築可能です。
- 高度なパターンマッチングアルゴリズムの採用により、パターン形状変化へのロバスト性を向上し、オペレーターアシストの発生頻度を削減します。
<RecipeDirector UI画面>
<レシピ作成時間の短縮効果>
<Auto Recipe Creationによるレシピ作成フロー>
システム概要
- RecipeDirectorはユーザーデータを管理するApplicationサーバ、Design Dataを管理するDesign Dataサーバ、操作画面を表示するクライアントPCで構成されます。
対象装置
日立ハイテク製CD-SEM（詳細はお問い合わせください）
