オフライン測長・解析 PC
Terminal-PC
特長
- CD-SEMの測長/画像ファイルを自動取得します。
- CD-SEMと同じ計測アルゴリズムを用いた再計測が可能です。
- Microsoft Excel連携により測長結果の各種解析処理が可能です。
- 稼働状況把握やエラー解析でCD-SEMの稼動率向上に貢献します。
主な機能
- 転送 : 画像データ、測長ファイル等の転送
- レシピビューワー ： レシピ情報を一括表示
- レシピ評価 ： レシピ毎の稼働状況やエラー情報を表示
- データ処理 ： 測定結果をワークシートやグラフ表示
- オフライン測長 ： 転送機能で取得した画像ファイルの再測長
- レシピ転送 ： 他のCD-SEMへレシピ転送（オプション）
<転送機能>
<オフラインCD計測機能>
<データ処理機能（Focus Exposure表示）>
<データ処理機能（トレンド表示）>
<レシピ評価機能（レシピエラー）>
<レシピ評価機能（稼働状況管理）>
<データ処理機能（ワークシート表示）>
システム概要
- 接続台数 ：Terminal-PC1台で最大50台のCD-SEM接続が可能です。
- 自動転送 ：ユーザファイルの自動取得は最大50台まで対応可能です。
- レシピ評価 ：レシピ評価機能は最大17台のCD-SEMに対応可能です。
- 接続ライセンス：以下2種のライセンス方式を用意しています。
（1）通常ライセンス
ご購入いただいたTerminal-PCソフトウェアを、PC1台にインストールしてご使用頂けます。
インストールするPCの台数分のソフトウェアをご購入いただく必要があります。
（2）フローティングライセンス
ご購入いただいたライセンス数まで同時に複数のPCからTerminal-PCソフトウェアをご使用頂けます。
フローティングライセンスを使用いただくPCは常にネットワークに接続されている必要があり、これとは別にライセンスサーバーPCが必要です。
対象装置
日立ハイテク製CD-SEM（詳細はお問い合わせください）
