オンライン高速・多項目計測システム
MI-Boost
特長
- CD-SEMとハイパフォーマンスコンピューティング技術の組み合わせで多項目＆多点計測を実現するサーバーシステムです。
- MI-Boostサーバーによる測長結果はCD-SEMを介して上位HOSTへ転送され、製造装置やプロセス変動起因のパターン変動を監視します。
- 従来のCDに加え、2D、Roughness、Overlayなど、次世代デバイス管理に求められる多種多様な計測種を搭載しています。
<多項目・多点計測の例>
<MI-Boost導入によるMAM Time改善効果>
MI-Boost接続時は、ACDの計測点数や多項目測定による計測点数を増やしても、MAM Timeに影響しません。
※ 撮像条件 : 1024pix/Normal Scan/TV x2/2frame/Dense hole
主な機能
- 各種測長種での並列測長処理（下記、測長機能一覧参照）
- 測長結果CD-SEM転送
- External Data Storageデータ出力
- オートパージ
システム概要
- MI-BoostサーバーにUIはありません。
- CD-SEMとMI-Boostサーバーは1:1接続となり、接続装置からのLAN長は100m以内、LANケーブルのカテゴリは以下の通りとなります。
| 装置型式 | LANケーブルカテゴリ |
|---|---|
| CG6300、CG7300 | 5e以上 |
| GT2000 | 6A以上 |
対象装置
日立ハイテク製CD-SEM（詳細はお問い合わせください）
