オフライン多機能測長システム
DesignGauge-Analyzer Plus
特長
- OPCモデリングやプロセス最適化向けに信頼性の高いクリーンデータを効率的に生成します。
- 測長結果のレビュー、エラー計測点の自動選択とリジェクト、フィルタリングなど各種機能を搭載しています。
- 高精度なエッジ検出技術と、CD-SEMと同様のスキャン方式を採用することで、CD値とのGAPを抑制したより正確なコンター抽出が可能です。
- 複数台のサーバーを用いたクラスタモードは、Contour抽出の並列処理でスループットを向上出来ます。
<高精度エッジ検出>
<CD-Contour GAP低減スキャン>
主な機能
- 計測結果自動レビュー（測長値、測長画像、エッジ検出点）
- 計測エラー発生個所の自動選択、リジェクト、フィルタリング、再測長
- 測長パラメータのテンプレート化
- 測長パラメータ一括編集
- 測長結果ファイル出力（Image Data、HSS※） ※HSS: Hitachi Spread Sheet
- Contour抽出とファイル出力（GDS、OASISフォーマット）
<計測結果レビュー>
<Contouring抽出>
システム概要
- DesignGauge-Analyzer Plusサーバー内でプログラムやユーザ―ファイルを一元管理します。
- ユーザーはクライアントPCからDesignGauge-Analyzer Plusサーバーへアクセスします。
- 測長結果を取得するためには、装置側でDesignGauge-Analyzer Plus接続オプションの購入が必要です。
対象装置
日立ハイテク製CD-SEM（詳細はお問い合わせください）
