超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU8700
SU8700は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 ショットキーFE電子銃搭載により、極低加速電圧観察から大照射電流を要する高速分析まで幅広い解析手法に対応します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。
* 装置写真はオプション付属の状態です。
中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。
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価格：お問い合わせください
取扱会社：株式会社 日立ハイテク
特長
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10 V*までの低加速電圧と最大200 nAまでの照射電流
低真空モード対応
多様な情報を取得する検出系
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SU8700は光学系の自動調整機能を搭載しており、ユーザーの操作負荷を低減します。また、オプション機能 ”EM Flow Creator”では、連続画像取得などの操作の自動化をサポートします。倍率やステージ位置などの条件設定、フォーカス/コントラスト調整などのSEM機能をブロック化し、それらを組み合わせることで一連の観察レシピを作成します。
レシピはブロックをドラッグ＆ドロップし、フローのように配置することで作成可能で、レシピを実行することで自動観察を開始します。
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デュアルモニター対応と6チャンネル同時表示
デュアルモニター使用時は最大6チャンネルの信号を表示できます。
SEM信号だけでなく、ナビゲーション画面（SEM MAP）やチャンバースコープも表示可能です。
カスタマイズも可能なGUIは、2つのモニターを使用することでワークスペースを拡張し、生産性向上に寄与します。
試料室ビルトインタイプのナビゲーションカメラが搭載可能です。カメラで撮影された試料ホルダー画像はSEM MAP画面に貼り付けられて観察箇所をナビゲートし、迅速な観察をサポートします。カメラナビゲーション*
試料室内をモニターできるチャンバースコープは安全な試料移動をアシストします。カラー/モノクロ切り替え可能です。チャンバースコープ*
試料室とポート
試料交換室は最大Φ150 mm径の試料を挿入できます。試料室は複数のEDS装着ポートを備えています。（写真はオプションを含みます）
*オプション
アプリケーションデータ
半導体デバイス
7 nmプロセスSRAMのボルテージコントラスト観察
SEMのボルテージコントラスト観察はデバイス評価に有効な手法の一つですがデバイス構造の変化に伴い、加速電圧などの適切な条件設定を行う必要性が増大しています。
左の画像は0.3 kVでの7 nmプロセスSRAM観察事例です。
SU8700はステージに電圧を印加せずに0.01 kV*まで加速電圧を下げられる光学系を備えており、ボルテージコントラスト観察条件の最適化が可能です。
3D NANDメモリセルの観察
左の画像は3D NANDのメモリセルの観察事例です。
キャパシター部の窒化膜と酸化膜及び多結晶シリコンからなる10 nm以下の各層の構造が観察できています。
*オプション
マテリアルサイエンス
鋼の焼き戻しマルテンサイト組織の多角的観察
金属試料の組織観察では多様な情報の取得が必要とされます。左図は鋼の焼き戻しマルテンサイト組織ですが、二次電子信号を取得したUD像（左図上）では析出物の分布状況が高コントラストで確認できており、また同条件で反射電子信号を取得したPD-BSED像（左図下）ではチャンネリングコントラストにより各結晶粒のサイズや歪みが反映された情報が得られています。更に視野を拡大したPD-BSED像（右図下）ではいくつかの粒内で結晶欠陥が明瞭に観察されています。
試料ご提供：東京大学 南部 将一 様
ナノ粒子のコアシェル構造
ナノ粒子のコアシェル構造においてはそれぞれの粒径は重要な評価項目の一つです。
その観察では複数信号の同時検出が有効な手段となります。
UD像（左図）による二次電子信号検出により、シェルであるSiO2の形状や粒径が観察できています。またMD像（右図）による反射電子像では内部に存在するAgが明瞭に表れており、両者が明瞭に区別できています。
ライフサイエンス
シロイヌナズナの微細構造
試料ご提供：理化学研究所 環境資源科学研究センター 豊岡 公徳 様
シロイヌナズナ子葉の超薄切片を観察した事例です。
2 kVの加速電圧を用いて反射電子信号を取得した結果、透過電子顕微鏡像のように細胞の構造が明瞭で右の拡大画像では葉緑体のチラコイド膜の微細構造などが観察されています。
ラット大脳皮質の広視野・高精細画像取得
ラット大脳皮質の超薄切片試料を広視野・高精細で画像を取得した事例です。左上は約120 μmの視野幅からの画像で、黄枠線で囲まれた箇所をデジタルズームで切り出したのが左下の画像です。右下の画像も同様に左下黄枠線内を拡大しており、左上の元画像を20倍にデジタルズームしていることになりますが、この状態で神経細胞のオルガネラなどの内部構造が確認できる像質を維持しています。SU8700では最大で40,960 x 30,720まで取得画素を拡張しており*、この事例のような広視野・高精細での画像取得を可能にしています。
試料ご提供：自然科学研究機構 生理学研究所 脳機能計測・支援センター
電子顕微鏡室・窪田グループ 窪田 芳之 様
*オプション
仕様
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 電子光学系 | 二次電子分解能 | 0.6 nm@15 kV |
| 0.8 nm@1 kV | ||
| 0.9 nm@0.3 kV | ||
| 倍率 | 20～2,000,000 x | |
| 電子銃 | ショットキーエミッター | |
| 加速電圧 | 0.1～30 kV 0.01～30 kV（*3） |
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| 照射電圧（*1）（*3） | 0.01～7 kV | |
| 照射電流 | 最大200 nA | |
| 検出器 | 標準検出器 | Upper 検出器（UD） |
| Lower 検出器（LD） | ||
| オプション検出器 | Middle検出器（MD） | |
| 半導体型反射電子検出器（PD-BSED） | ||
| 高感度低真空検出器（UVD） | ||
| STEM 検出器 | ||
| オプションアクセサリー（*2） | エネルギー分散型X線検出器（EDS） | |
| 電子線後方散乱回折像検出器（EBSD） | ||
| 真空系 | 低真空モード（*3） | 5～300 Pa |
| 試料ステージ | 制御 | 5軸モータードライブ |
| 可動範囲 | ||
| X | 0～110 mm | |
| Y | 0～110 mm | |
| Z | 1.5～40 mm | |
| T | -5～70° | |
| R | 360° | |
| 試料室 | 搭載試料サイズ | 最大 Φ150 mm |
（*1） リタ―ディングモード使用時
（*2） 取付可能な分析機器
（*3） オプション
関連情報
