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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

電界放出形透過電子顕微鏡 HF5000

空間分解能と傾斜・分析性能を調和した、200 kV収差補正TEM/STEM

0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。
走査透過電子顕微鏡「HD-2700」搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。
ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。

2ndモニタオプション付き、モニタ画面は、はめ込み合成です。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

    特長

    1. 日立製照射系球面収差補正器(自動補正機能付き)を標準搭載
    2. 高輝度・高安定コールドFE電子銃を搭載
    3. 鏡体や電源等の高安定化による本体性能向上
    4. 収差補正SEM/STEM像同時観察と、原子分解能SE像観察
    5. 新型サイドエントリー試料ステージ機構、試料ホルダの採用
    6. 大立体角EDX*のデュアル対向配置(シンメトリーDual SDD*)に対応
    7. 新構造の本体エンクロジャー・カバーを採用
    8. 各種日立製高機能ホルダ*をラインアップ
    *
    オプション

    高輝度コールドFE電子銃×高安定化×日立製球面収差補正器

    長年の実績のある高輝度コールドFE電子源の技術をベースに見直しを行い、電子銃のさらなる高安定化を実現しました。
    さらに、サブÅの像観察に対応すべく、鏡体、電源系、試料ステージを一新し、機械的・電気的安定度を高めた上で、日立製照射系球面収差補正器と組合せました。
    より高輝度で細いプローブが、より安定して得られるだけでなく、自動収差補正機能により迅速に補正が行え、装置本来の性能を容易に引き出せます。収差補正をより実用的にご利用いただけます。

    Si(211)単結晶のHAADF-STEM像(左)と、像強度プロファイル(右下)、FFTパワースペクトル(右上)
    Si(211)単結晶のHAADF-STEM像(左)と、像強度プロファイル(右下)、FFTパワースペクトル(右上)

    大立体角EDX*のシンメトリーDual SDD*に対応

    100 mm2 SDD検出器のデュアル配置に対応し、さらに高い感度とスループットでEDX元素分析が行えます。
    2本目の検出器は、1本目の検出器に対して対向位置に配置されるため、試料傾斜によるX線トータルでの信号検出量の変化がほとんどありません。そのため結晶性試料であっても、信号量に気兼ねなく、試料方位の合った状態で元素分析が行えます。
    また、電子線に弱い試料や、X線放出量の少ない試料、原子カラムマッピングにも有効なほか、低倍広視野での高精細マッピング等にもご利用いただけます。

    GaAs(110)の原子カラムEDXマッピング
    GaAs(110)の原子カラムEDXマッピング

    収差補正SEM像/STEM像 同時観察

    二次電子検出器を標準搭載しており、収差補正SEM/STEM像の同時観察が行えます。試料表面と内部構造の同時観察により、3次元的な試料構造の把握が可能です。
    収差補正SEM像では、球面収差補正による分解能向上に加え、試料表面のより忠実な像が得られます。

    Au/CeO2触媒のSEM/ADF-/BF-STEM像(上段)とAu粒子の高分解能像(下段)
    Au/CeO2触媒のSEM/ADF-/BF-STEM像(上段)とAu粒子の高分解能像(下段)

    仕様

    主な仕様

    項目内容
    電子源 W(310)冷陰極電界放出形
    加速電圧 200 kV、60 kV*1
    像分解能STEM 0.078 nm(ADF-STEM像)
    TEM 0.102 nm(格子像)
    倍率STEM ×20~×8,000,000
    TEM ×100~×1,500,000
    試料微動試料ステージ ユーセントリックゴニオメータ5軸ステージ
    試料サイズ 3 mm Φ
    移動範囲 X, Y=±1.0 mm, Z=±0.4 mm
    試料傾斜 α=±25°、β=±35°(日立2軸傾斜試料ホルダ*1
    収差補正器 日立製照射系球面収差補正器(標準搭載)
    画像表示PC Windows® 7 *2
    モニタ 27型ワイド液晶ディスプレイ(本体制御モニタ, 2ndモニタ*1
    カメラ 標準搭載リトラクタブルカメラ
    スクリーンカメラ*1(蛍光板観察用)

    本体寸法/質量

    項目 幅×奥行×高さ(mm) 質量(kg)
    鏡体部(電子銃含む) 1,060×1,742×2,970 1,940
    本体カバー 1,678×1,970×3,157 429
    操作卓 1,400×819×740 132
    拡張操作卓*1 580×819×740 53
    FEタンク 1,041×840×1,317 482
    V0タンク 398×630×1,046 164
    制御電源 1,400×693×816 173
    収差補正器電源 606×529×1,096 81
    排気系電源 913×663×1,790 378
    偏向系電源 913×663×1,790 394
    ウェイト 280×130×130 23
    Gatanコントローラ*1*3 576×648×1,173 150
    冷却水制御ユニット 470×540×350 25
    冷却水循環装置*1*3 970×970×1,064 95
    ドライポンプ*1 252×400×336 23
    エアーコンプレッサ*1 275×560×576 25

    据付条件

    項目 内容
    室温 15~23℃(温度変化:0.2℃/h以内)
    湿度 40~60% RH
    電源 本体 単相AC200~240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA
    ブレーカ容量 50 A
    冷却水循環装置*1*3 三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A
    接地 D種接地(100 Ω以下)
    冷却水 水量 5.1~5.3 L/min 1系統、2.0~2.2 L/min 1系統
    (水圧0.25 MPa)
    水温 16~18℃(変動:±0.1℃以内)
    ガス SF6 99.9%以上、180 k~200 kPa
    ドライ窒素 99.99%以上、0~100 kPa
    圧縮空気 600 k~800 kPa

    ご購入前に設置予定場所の振動、磁場、騒音を測定し、許容値を超える場合は必ず個別にご相談ください。
    許容値は別途お問い合わせください。

    【注】
    *1:オプション。*2:Windowsは、米国およびその他の国における米国Microsoft Corp.の登録商標です。*3:仕様、サイズはメーカ、モデル、構成により異なります。

    レイアウト例

    レイアウト例
    ※上記構成(メンテナンス器具含む)では全設備質量は、約5,000kgになります。
    ※床強度(kg/m2)>3×全設備質量(kg)/床面積(m2)であることをご確認ください。

    技術機関誌 SI NEWS

    弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。

    アプリケーションデータ

    TEMの測定例を紹介します。

    セミナー

    電子顕微鏡・FIBなどに関するセミナーを紹介します。

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