電界放出形透過電子顕微鏡 HF5000
空間分解能と傾斜・分析性能を調和した、200 kV収差補正TEM/STEM
0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。
0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。
走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。
ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。
* 2ndモニタオプション付き、モニタ画面は、はめ込み合成です。
価格：お問い合わせください
取扱会社：株式会社 日立ハイテク
特長
- 日立製照射系球面収差補正器（自動補正機能付き）を標準搭載
- 高輝度・高安定コールドFE電子銃を搭載
- 鏡体や電源等の高安定化による本体性能向上
- 収差補正SEM/STEM像同時観察と、原子分解能SE像観察
- 新型サイドエントリー試料ステージ機構、試料ホルダの採用
- 大立体角EDX*のデュアル対向配置（シンメトリーDual SDD*）に対応
- 新構造の本体エンクロジャー・カバーを採用
- 各種日立製高機能ホルダ*をラインアップ
* オプション
高輝度コールドFE電子銃×高安定化×日立製球面収差補正器
長年の実績のある高輝度コールドFE電子源の技術をベースに見直しを行い、電子銃のさらなる高安定化を実現しました。
さらに、サブÅの像観察に対応すべく、鏡体、電源系、試料ステージを一新し、機械的・電気的安定度を高めた上で、日立製照射系球面収差補正器と組合せました。
より高輝度で細いプローブが、より安定して得られるだけでなく、自動収差補正機能により迅速に補正が行え、装置本来の性能を容易に引き出せます。収差補正をより実用的にご利用いただけます。
大立体角EDX*のシンメトリーDual SDD*に対応
100 mm2 SDD検出器のデュアル配置に対応し、さらに高い感度とスループットでEDX元素分析が行えます。
2本目の検出器は、1本目の検出器に対して対向位置に配置されるため、試料傾斜によるX線トータルでの信号検出量の変化がほとんどありません。そのため結晶性試料であっても、信号量に気兼ねなく、試料方位の合った状態で元素分析が行えます。
また、電子線に弱い試料や、X線放出量の少ない試料、原子カラムマッピングにも有効なほか、低倍広視野での高精細マッピング等にもご利用いただけます。
収差補正SEM像/STEM像 同時観察
二次電子検出器を標準搭載しており、収差補正SEM/STEM像の同時観察が行えます。試料表面と内部構造の同時観察により、3次元的な試料構造の把握が可能です。
収差補正SEM像では、球面収差補正による分解能向上に加え、試料表面のより忠実な像が得られます。
仕様
主な仕様
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 電子源 | W（310）冷陰極電界放出形 | |
| 加速電圧 | 200 kV、60 kV*1 | |
| 像分解能 | STEM | 0.078 nm（ADF-STEM像） |
| TEM | 0.102 nm（格子像） | |
| 倍率 | STEM | ×20～×8,000,000 |
| TEM | ×100～×1,500,000 | |
| 試料微動 | 試料ステージ | ユーセントリックゴニオメータ5軸ステージ |
| 試料サイズ | 3 mm Φ | |
| 移動範囲 | X, Y＝±1.0 mm, Z=±0.4 mm | |
| 試料傾斜 | α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜試料ホルダ*1） | |
| 収差補正器 | 日立製照射系球面収差補正器（標準搭載） | |
| 画像表示 | モニタ | 27型ワイド液晶ディスプレイ（本体制御モニタ, 2ndモニタ*1） |
| カメラ | 標準搭載リトラクタブルカメラ スクリーンカメラ*1（蛍光板観察用） |
|
本体寸法/質量
| 項目 | 幅×奥行×高さ（mm） | 質量（kg） |
|---|---|---|
| 鏡体部（電子銃含む） | 1,060×1,742×2,970 | 1,940 |
| 本体カバー | 1,678×1,970×3,157 | 429 |
| 操作卓 | 1,400×819×740 | 132 |
| 拡張操作卓*1 | 580×819×740 | 53 |
| FEタンク | 1,041×840×1,317 | 482 |
| V0タンク | 398×630×1,046 | 164 |
| 制御電源 | 1,400×693×816 | 173 |
| 収差補正器電源 | 606×529×1,096 | 81 |
| 排気系電源 | 913×663×1,790 | 378 |
| 偏向系電源 | 913×663×1,790 | 394 |
| ウェイト | 280×130×130 | 23 |
| Gatanコントローラ*1*2 | 576×648×1,173 | 150 |
| 冷却水制御ユニット | 470×540×350 | 25 |
| 冷却水循環装置*1*2 | 970×970×1,064 | 95 |
| ドライポンプ*1 | 252×400×336 | 23 |
| エアーコンプレッサ*1 | 275×560×576 | 25 |
据付条件
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 室温 | 15～23℃（温度変化：0.2℃/h以内） | |
| 湿度 | 40～60% RH | |
| 電源 | 本体 | 単相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA ブレーカ容量 50 A |
| 冷却水循環装置*1*2 | 三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A | |
| 接地 | D種接地（100 Ω以下） | |
| 冷却水 | 水量 | 5.1～5.3 L/min 1系統、2.0～2.2 L/min 1系統 （水圧0.25 MPa） |
| 水温 | 16～18℃（変動：±0.1℃以内） | |
| ガス | SF6 | 99.9%以上、180 k～200 kPa |
| ドライ窒素 | 99.99%以上、0～100 kPa | |
| 圧縮空気 | 600 k～800 kPa | |
ご購入前に設置予定場所の振動、磁場、騒音を測定し、許容値を超える場合は必ず個別にご相談ください。 許容値は別途お問い合わせください。
*1 オプション。
*2 仕様、サイズはメーカ、モデル、構成により異なります。
レイアウト例
* 上記構成(メンテナンス器具含む)では全設備質量は、約5,000kgになります。
* 床強度（kg/m2）＞3×全設備質量（kg）/床面積（m2）であることをご確認ください。
TEM/STEMの測定例を紹介します。
弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。
電子顕微鏡・FIBなどに関するセミナーを紹介します。
電子顕微鏡により忠実に再現した、金属、鉱物、生物などの造形の美をコンピュータのグラフィック技術により、さらに美しく仕上げた写真集です。
年表で見る日立の電子顕微鏡の歩みを紹介します。
臼倉先生に、電子顕微鏡で観察する際のサンプルの前処理に関してさまざまなテクニックを教えていただきました。
日立のSEM、TEMで撮影した私たちの身の回りにいる生物、化粧品、繊維などの極微の世界をミクロ先生が紹介します。
関連製品カテゴリ
関連情報
