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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテク

イオンスパッタ MC1000

マグネトロン電極の採用で試料をマイルドコーティング

価格: 1,510,000円(本体)~

取扱会社:株式会社 日立ハイテク

    特長

    • LCDタッチパネルにより指先ひとつで電流・時間などの条件設定が可能
    • 設定した条件の保存・読み出しが可能なレシピ機能を標準装備
    • オプション装着により厚い試料や大型の試料に対応可能

    仕様

    項目内容
    放電方式 ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形)
    電極形状 対向平行円板(マグネット埋込み)
    電圧 最高電圧DC 0.4 kV(位相制御にて可変)
    電流 最大電流DC 40 mA(設定範囲:5~40 mA)
    コーティングレート
    (参考値*1)最大値:
    <条件>
    真空度:7 Pa
    放電電流:40 mA
    試料間距離:20 mm
    Ptターゲット 15 nm/min
    Pt-Pdターゲット 20 nm/min
    Auターゲット 35 nm/min
    Au-Pdターゲット 25 nm/min
    コーティング時間 5~300秒
    試料サイズ最大試料径 φ60 mm
    最大試料高さ 20 mm
    排気ポンプ ロータリーポンプ 135/162 L/min(50/60 Hz)
    ターゲット(Φ63 mm)(別売品) Pt、Pt-Pd(8:2)、Au、Au-Pd(6:4)
    所要電源 単相AC 100 V(±10%) 15 A(50/60 Hz)
    外形寸法(本体)
    オプション非装着時
    450 mm
    奥行 391 mm
    高さ 391 mm
    質量 本体 : 21.5 kg ロータリーポンプ : 30 kg
    カーボンコーディングユニット : 26 kg
    *1
    : コーティングレートは参考値であり、条件によって変わります。

    標準内訳

    項目内容
    本体 1
    ロータリーポンプ 1
    標準付属品 1式
    取扱説明書 1

    設置条件

    項目内容
    室温 15~25℃
    湿度 45~85 %RH以下(結露しないこと)
    電源 単相AC100V(±10%)、50/60Hz、1.5kVA
    D種接地、接地抵抗100Ω以下付専用開閉器
    (漏電検知器(中感度遅延形付)が配置された3Pコンセント)

    お客様準備品

    項目内容
    Arガス圧力 0.03~0.05 Mpa
    Arガス導入配管*2 1/4インチSUS配管(1/4スウェージロック対応)、レギュレータ
    酸素濃度計*3 酸素濃度19%以上が確認できるもの
    推奨テーブル 550(W)×550(D)×700(H)(mm)以上、設置テーブルの強度が機器の質量に耐えること
    *2
    : Arガス供給設備(Arガスボンベ)と装置間をつなぐ配管です。
    供給設備(Arガスボンベ)用の調圧器と合わせてご準備ください
    *3
    : アルゴンガスは窒息性がありますので、設置場所には酸素濃度計および換気設備をご準備ください

    特別付属品(オプション)

    項目内容
    膜厚温調機能*4 膜厚設定範囲:1~30 nm
    温度設定範囲:室温~(室温-25)℃ 、安定度±1℃ 以内
    大型チャンバー*5 最大搭載サイズ:φ150 mm、最大試料高さ:20 mm
    45 mm スペーサー*6 最大試料サイズ:φ60 mm、最大試料高さ:45 mm
    カーボンコーティングユニット 蒸着源:カーボンロッド焼き切り
    *4
    : 水晶発振子による質量膜厚です。後付け不可。大型チャンバー非対応。
    *5
    : 後付け不可
    *6
    : 標準チャンバー専用

    技術機関誌 SI NEWS

    弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。

     
     

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