イオンスパッタ MC1000
特長
- LCDタッチパネルにより指先ひとつで電流・時間などの条件設定が可能
- 設定した条件の保存・読み出しが可能なレシピ機能を標準装備
- オプション装着により厚い試料や大型の試料に対応可能
仕様
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 放電 | 方式 | ダイオード放電マグネトロン形（電場・磁場直交形） |
| 電極形状 | 対向平行円板（マグネット埋込み） | |
| 電圧 | 最高電圧DC 0.4 kV（位相制御にて可変） | |
| 電流 | 最大電流DC 40 mA（設定範囲：5～40 mA） | |
| コーティングレート （参考値*1）最大値： ＜条件＞ 真空度：7 Pa 放電電流：40 mA 試料間距離：20 mm |
Ptターゲット 15 nm/min Pt-Pdターゲット 20 nm/min Auターゲット 35 nm/min Au-Pdターゲット 25 nm/min |
|
| コーティング時間 | 5～300秒 | |
| 試料サイズ | 最大試料径 | φ60 mm |
| 最大試料高さ | 20 mm | |
| 排気ポンプ | ロータリーポンプ 135/162 L/min（50/60 Hz） | |
| ターゲット（Φ63 mm）（別売品） | Pt、Pt-Pd（8：2）、Au、Au-Pd（6：4） | |
| 所要電源 | 単相AC 100 V（±10％） 15 A（50/60 Hz） | |
| 外形寸法（本体） オプション非装着時 | 幅 | 450 mm |
| 奥行 | 391 mm | |
| 高さ | 391 mm | |
| 質量 | 本体：約 22 kg、ロータリーポンプ：約 30 kg カーボンコーティングユニット：約 26 kg |
|
*1 コーティングレートは参考値であり、条件によって変わります。
標準内訳
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 本体 | 1 |
| ロータリーポンプ | 1 |
| 標準付属品 | 1式 |
| 取扱説明書 | 1 |
設置条件
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 室温 | 15～30℃ |
| 湿度 | 45～85％以下（結露しないこと） |
| 電源 | 単相AC100V（±10％）、50/60Hz、1.5kVA D種接地、接地抵抗100Ω以下付専用開閉器 （漏電検知器（中感度遅延形付）が配置された3Pコンセント（コード長3 m）） |
お客様準備品
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| Arガス圧力 | 0.03～0.05 Mpa |
| Arガス導入配管*2 | 1/4インチSUS配管（1/4スウェージロック対応2 m以内）、レギュレータ |
| 酸素濃度計*3 | 酸素濃度19％以上が確認できるもの |
| 推奨テーブル | 550（W）×550（D）×700（H）（mm）以上、設置テーブルの強度が機器の質量に耐えること |
*2
Arガス供給設備（Arガスボンベ）と装置間をつなぐ配管です。
供給設備（Arガスボンベ）用の調圧器と合わせてご準備ください
*3 アルゴンガスは窒息性がありますので、設置場所には酸素濃度計および換気設備をご準備ください
特別付属品（オプション）
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 膜厚温調機能*4 | 膜厚設定範囲：1～30 nm 温度設定範囲：室温～（室温-25）℃ 、安定度±1℃ 以内 |
| 大型チャンバー*5 | 最大搭載サイズ：φ150 mm、最大試料高さ：20 mm |
| 45 mm スペーサー*6 | 最大試料サイズ：φ60 mm、最大試料高さ：45 mm |
| カーボンコーティングユニット | 蒸着源：カーボンロッド焼き切り |
*4 水晶発振子による質量膜厚です。後付け不可。大型チャンバー非対応。
*5 後付け不可
*6 標準チャンバー専用
ご相談・お問い合わせ先
関連リンク
日立電子顕微鏡をご愛用いただいているお客様向けのコンテンツを提供する会員制サイト
